Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171285 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9171285
TEOS System (2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein hochmoderner Ätzreaktor für Halbleiterprozessanwendungen. Es ist eine Multi-Kammer, Multi-Modul-Ätzausrüstung, die sowohl vielseitig als auch hochgradig anpassbar ist, um die individuellen Bedürfnisse jedes Kunden zu erfüllen. Das System wurde entwickelt, um Anwendern maximale Kontrolle über den Ätzprozess zu bieten, so dass sie eine enge Produktionssteuerung und schnelle Zykluszeiten erzielen können. AMAT P-5000 besteht aus einem Lastschloss/Entlüftungsanschluss und einer oder zwei Bearbeitungskammern. Der Ladeschloß/Entlüftungsanschluss hat verschiedene Funktionen, die es Benutzern ermöglichen, Substrate einzuführen und zu entfernen, die Einheit zu evakuieren und den Druck der Prozesskammer zu steuern. Prozessgase werden durch eine fortgeschrittene Verteilermaschine geliefert, die in die Verladung integriert ist. Der Verteiler besteht aus Hochdruck-Edelstahl und umfasst mehrere Einlassventile und Gasleitungsanschlüsse. Die Bearbeitungskammer des Werkzeugs weist eine zylindrische Körperkonstruktion mit elektromagnetischen verbesserten Spulenanordnungen auf, die um die Kammerwände herum angeordnet sind. Diese E-Spulen erzeugen eine starke Kombination von magnetischen und elektrostatischen Feldern, die ein gleichmäßiges und homogenes Prozeßplasma gewährleisten. Die E-Coils sorgen auch für eine Selbstreinigung der Kammerwände, was zu einer verbesserten Prozessreproduzierbarkeit und reduzierten Kammerreinigungszyklen führt. Angewandte Materialien P 5000 Asset verwendet eine breite Palette von einzelnen Gas- und Gasmischungen für Prozesskammergase. Die Stromversorgung erfolgt über einen HF-Generator, der es dem Anwender ermöglicht, den Strom des Elektronenstrahls zu steuern, um ein einheitliches, homogenes Prozeßplasma zu erzeugen. Darüber hinaus können Benutzer die Frequenz und Leistung in der Genauigkeit einstellen. Das Modell enthält ein ausgeklügeltes Softwarepaket, das anwenderspezifische Rezepte und Parameter bietet. Es ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung der genauen Produktionskosten, bietet Datenerfassung und Analyse relevanter Prozessparameter und arbeitet in Echtzeit. Die Software enthält auch Sicherheitsmerkmale wie In-Chamber-Sicherheitssysteme und Druckgrenzen. Dadurch bleibt der Prozessbetrieb sicher, effizient und produktiv. Insgesamt ist AMAT P5000 eine fortschrittliche Ätzausrüstung, die sehr vielseitig und anpassbar ist. Es bietet eine beispiellose Kontrolle über den Ätzprozess, so dass Benutzer die Produktionszeiten verbessern und den Ertrag maximieren können.
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