Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9179591 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9179591
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
PCVD TEOS System, 6" Mark II frame Chamber and gas configuration: (3) PETEOS (3) Chambers for TEOX A: 1100 sccm N2, 1 sccm N2, 3 slm N2 TEOS Bubbler B: 1100 sccm N2, 1 sccm N2, 3 slm N2 TEOS Bubbler C: 1100 sccm N2, 1 sccm N2, 3 slm N2 TEOS Bubbler Chuck type: Mechanical clamp Elevator size: Short Frame type: Standard Loader type: Manual Loadlock Gas box: Hot RF Matches Indexers Automated cassette-to-cassette handling Does not include: Dry pumps Chiller Heat exchanger Spare parts Turbo pumps Controllers Generator racks AC Power box 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (PECVD). Es ist ein industrielles Hochdurchsatzwerkzeug, das für Dünnschichtabscheidungsanwendungen verwendet wird. AMAT P-5000 bietet eine ideale Umgebung für die Abscheidung dünner Schichten von Materialien wie Halbleitern, Oxiden und Metallen bei der Herstellung optoelektronischer, datenspeichernder und mikroelektronischer Bauelemente. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 verwendet eine doppelstufige Leitung, in der sich eine Prozesskammer und eine Reaktionskammer befinden. Die Prozesskammer enthält das Substrat und kann auf eine maximale Temperatur von 500 ° C erwärmt werden. Die Reaktionskammer beherbergt die für die Plasmaerzeugung und -überwachung zuständige Plasmaquelle und Steuerelektronik. In der Reaktionskammer wird das Plasma durch eine Hochfrequenzquelle erzeugt und durch drei Gasquellen - Stickstoff, Argon und Wasserstoff - aufrechterhalten. Das Substrat erfährt einen Beschuss von energetischen Ionen, die als Ätz- oder Abscheidungsmittel wirken, um dünne Filmschichten auf dem Substrat zu bilden. Der 12-stufige Verfahrenszyklus bedeutet, dass Substrate in wenigen Stunden und mit hoher Wiederholbarkeit verarbeitet werden können. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 bietet eine einfache Werkzeugeinrichtung für wiederholbare und konsistente Ergebnisse und Flexibilität durch benutzerfreundliche Software. Es wird entworfen und hergestellt, um die spezifischen Prozessanforderungen für eine Vielzahl von Folienabscheidungsprozessen zu erfüllen, mit einer großen Auswahl an Rezepturen und Prozesschemien kompatibel. P 5000 ist ein zuverlässiges Abscheidungssystem, das in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann, von der Mikroelektronik über die Datenspeicherung bis hin zu Photovoltaikzellen und darüber hinaus. Es wurde entwickelt, um eine schnelle und effiziente Produktion von erstmalig richtigen integrierten Schaltungen mit hoher Qualitätssicherung zu ermöglichen. Es bietet auch Prozesssteuerungs-, Automatisierungs- und Datenerfassungssysteme, um eine konsistente und genaue Abscheidung sehr dünner gleichmäßiger Filme bei niedrigen Temperaturen zu ermöglichen. Insgesamt ist AMAT P 5000 ein industrieller Hochdurchsatz-PECVD-Reaktor, der eine große Flexibilität, Effizienz, Konsistenz und Zuverlässigkeit bietet. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften und einem hohen Grad an Prozesskontrolle kann es helfen, hochwertige integrierte Schaltungen mit einem hohen Maß an Genauigkeit und Ausbeute zu erstellen.
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