Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9180686 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9180686
PECVD System
Spare parts:
Qty P/N Description
Cabinet 1: Shelf 1
(2) 0020-10752 Pumping plate 4,5,6" silane/nitride
(0) - 5 Hole pumping ring
(5) 0020-09316 Plate, blocker 150 MM teos
(1) - Plate, blocker 150 MM Silane
(11) 0020-10771 Perf blate, 150 MM Oxide
(4) 0020-10119 Showerhead CVD nitride rounded shoulder
(1) 0020-10119 Showerhead CVD nitride beveled shoulder
(3) 0020-10941 Isolater, Teflon ring (Nitride)
(2) 0020-10941 Isolater, Teflon ring (TEOS)
Shelf 2:
(3) 0020-10059 Ring, wafer lift
(10) 3700-02455 I/O Door oring
(0) 0150-09389 Cable assy,heater liquid source
(1) 3700-01033 Manifold output plate
(3) AS-568A K121 Teos iso valve oring
(6) AS-568A K030 Teos iso valve oring
(1) FS-V11 Motion sensor
(2) FS-V12 Motion sensor
(1) FS-V31C Motion sensor
(1) FU-95 Motion sensor
(1) - Delrin, focus ring
(1) 0020-09885 Isolater, delrin ring
(9) 0015-09232 Adjustment screw
(1) - Ceramic, focus ring
(3) 0010-60011 Susceptor assy(teos)
(5) 0200-09021 Shield, 150mm
(0) 0200-10193 Nitride shield
(1) 0020-09604 Single cfg(gas block)
Shelf 3:
(5) 0200-09158 Heater window
(5) 0150-09097 Cable assembly for heater lamp
(17) 3690-03638 Set screw for lamp modules
(9) 3790-01219 Insulators for lamp modules
(277) 1001820 Ushio 1000w lamp
Shelf 4:
(3) 0010-09341 Wafer lift
(1) 0010- 30029 (Primex) p chuck lift rebuild
(1) 0010-09341 Wafer lift
(4) 0010-09340 Susceptor lift
(1) 0010-09340 Susceptor lift
(1) 0010-09750 Rf match
Shelf 5:
(1) 0140-09244 Teos ampule
(1) 0010-09237 Heater module,basic
(4) 3700-01739 Oring
(1) 3700-01120 Oring kit for robot
(2) Type 0536 TC
(4) 167cv75 Oring
(1) D009510059 Oring
(3) 275V75 Ceramic tube o-ring
(3) 884V75 Oring
(1) 265V75 Oring
(9) 233V75 Oring
Misc lift parts
Cabinet 2: Shelf 1:
(2) 0200-09664 Window slit,al203
(3) 0020-09545 Filter, slit-window, cvd
(0) 0030-00195 Large face seal
(0) SS-SVCR4 Metering valve
(9) - Teos board connector female 3 pin
(8) - Teos board connector male 3 pin
(7) 0020-30533 Screw susceptor
(1) 0240-76545 Isolation valve rebuild kit kalrez
(200) - 6-32 x 5/16 skt ni plated
(200) - 4-40 x 5/8 skt ni plated
(4) 3630-01017 E clips
(2) 0190-09454 Endpoint detector
(30) 0015-09329 Screw mach btn hd 6-32 x 3/8 hex skt sst
Shelf 2:
(0) SS-BNV51-C Nupro valve vcr f-f
(1) SS-4TF-VCR-40 Nupro bottom actuator
(2) 0020-10921 Spacer wafer/susceptor lift
(12) - Spacer wafer/susceptor lift
(1) 0200-09035 Solid state hard drive
(200) 3690-01092 Scrcap skt hd 10-32 x 3/8l hex skt sst
(4) 3880-01215 Flat washer for pumping plate assy
(48) 3690-01156 Blocker plate screws
(140) 3690-01083 4/40 screw for robot, doors, actuators
(2) 3880-01368 Wshr lkg split m10 7.9mmw x 2.2mmthk stl
(15) 0020-09843 Sleeve wafer lift pin
(19) 3690-01676 Screw mach shldr for ceramic shield on shower
(29) 0020-10722 Modified screw, perf plate, thin
(34) 0020-10721 Cover,screw,teflon thin perf plate
(0) 0020-10728 Clamp, shield 4,5,6"teos
(1) - Gas box oring kit
(5) 3880-01079 Wshr wave sprg .367od x .265id x .030fh
(2) 0015-76034 Mdfd cplg shaft jspdr 1/4 bore
(17) EV-SM24 Ev valves for hot box w/24" leads
(2) 0020-10482 Box,temp/level sensor
(2) 0190-13175 Light pens
Shelf 3:
(1) - Teos watlow controller
(4) 548201 Lid closed switch
(1) 4020-01061 Point of use filter
(6) 3300-01215 Ftg hose conn 1/16h 10-32m brs barb
(2) MCV-2 Check valve
(2) 0020-09882 Amorphous rf connectors
(1) 0010-09301 Cvd throttle valve
(5) 276V75 Oring
(5) 3700-01334 O-ring for gas box
(5) 3700-01329 Throttle valve assy o-ring
(1) 111V75 Oring
(6) 3700-01332 O-ring for gas box
(4) 3700-01739 Oring id 1.859 csd .139 viton 75duro brn
(1) 0020-09881 Adaptor manifold
(8) 109v75 O-ring
(4) 3780-01090 Spring for wafer lift or susceptor
(0) 0015-09056 Lift bellows
(3) 3080-01030 Timing belt for motor
(2) 0015-09055 Bellows assy susceptorhollow
(2) 0200-35525 Resistor, ceramic, near-net shape
(6) 0200-09025 Tube gas feed, quartz 6mmx6.38
Shelf 4:
(4) - Lift actuator
(5) 0090-09006 Slit valve actuator
(2) 0010-09022 Slit valve assy
(1) FC-7700CD 300 Sccm silane
(1) FC-7800 50 Sccm silane
(1) UFM-1100 1 Slm he
(1) FC7700CD 1 Slm o2
(1) FC7700CD 1 Slm c2f6
(0) FC7700CD 500 Sccm he
(1) - Universal chamber integrated pumping stack
(2) 0010-09174 Assy thrvl valve 200mm, downstr,vi oring
(1) 0010-09146 Assy,sil.thrvlv 100-125-150mm,downstr, v
(1) 0100-09094 Box heater control brd
(2) - Misc drive motors
Shelf 5:
(1) 0010-70395 Robot extension motor
(1) 0010-70394 Assy,rotation motor, 5000 robot
(1) - Monitor base assy.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Hochleistungs-Ätz- und Abscheidungsgerät auf Plasmabasis. Es ist ein fortschrittliches, offenes Kammerwerkzeug, das für den Einsatz im Halbleiterherstellungsprozess entwickelt wurde. Das System verfügt über eine Dreimodulkammer-Baugruppe und eine Hochgeschwindigkeits-computergesteuerte Fördereinheit. AMAT P-5000 ermöglicht eine Vielzahl von Ätz- und Abscheidungschemikalien bei maximalem Verarbeitungsdurchsatz. Die Kammer der Maschine ist so konzipiert und hergestellt, dass sie einen extrem hohen Durchsatz und eine hohe Gleichmäßigkeit durch gleichmäßig schwebende Induktion und angepasste Substratheizung bietet. Dank seiner geringen Stellfläche ist es ein leicht in den Ätzprozess integriertes Werkzeug. Die Hochdruckkammer kann 10 mTorr erzeugen, während die Standard-Pumpstation auf 50 mTorr gehalten wird. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 wird von AMAT Hochleistungs-AMAT P 5000 Prozessregler angetrieben. Dies ist ein anpassbares Überwachungstool, das eine exakte Kontrolle über die Ablagerungsparameter und die Ausführung von Rezepten ermöglicht. Das Asset ermöglicht auch genaue Programmanpassungen für verschiedene Depositionen. Das automatisierte Load-Lock-Modell von AMAT P5000 macht es einfach, mit mehreren Substraten gleichzeitig für eine höhere Produktionseffizienz zu arbeiten. P5000 verfügt über integrierte Lastverriegelungseinrichtungen, die einen schnellen Materialtransfer ohne manuellen Materialaustausch ermöglichen. Das System schließt auch Hochleistungsrobotermanipulationshardware ein, automatisierte Be-und Entladung von Materialien vom Raum berücksichtigend. ANGEWANDTE MATERIALIEN P-5000 unterstützt eine Reihe von Ätz- und Abscheidungschemien und bietet gleichzeitig maximale Ätzgleichförmigkeit sowohl innerhalb als auch zwischen Wafern. Das Gerät verfügt außerdem über eine fortschrittliche Gasmischung und -abgabe, die eine genaue Regelung der Abscheidungs- und Ätzparameter ermöglicht. Die Reaktoren der Maschine sind in der Lage, Plasma mit Frequenzen von 250 kHz bis 1000 kHz zu erzeugen. Der vollautomatisierte P 5000 beinhaltet auch In-situ-Monitoring und Rezepturanpassungen zur schnellen Prozessoptimierung. Dies ermöglicht die sofortige Analyse von In-Process-Folien auf Waferebene, so dass Hersteller ihre Prozesse im Handumdrehen optimieren können. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 ist ein fortschrittliches Plasma-basiertes, offenes Kammerwerkzeug, das für die Produktion von hochvolumigen Halbleitern entwickelt wurde. Es hat eine kleine Stellfläche und überlegene Abscheidung Gleichmäßigkeit und Durchsatz. Mit einem automatisierten Load-Lock-Asset und fortschrittlichen Überwachungs- und Anpassungsfunktionen ermöglicht AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 höchste Produktionseffizienz und Leistung.
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