Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9181556 zu verkaufen
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ID: 9181556
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
TEOS CVD Systems, 8"
(3) Deposition Precision Liquid Injection System (PLIS) chamber
Sputter etch chamber
Parts / Modules:
DELATECH 859 Scrubber
Main power box with (4) ENI RF generators
DELTA RF Generator rack with (3) RFPP generators
APPLIED MATERIALS '0' Heat exchanger
Front and rear monitor
(3) EBARA Pumps: 50x20
(2) EBARA Pumps: 40x20
Mini controller
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Reaktortyp, der vom Software- und Hardwarehersteller AMAT, Inc. AMAT P-5000 ist ein Werkzeug, das von Chipherstellern verwendet wird, um qualitativ hochwertige Photolithographie-Prozesse durchzuführen. Es verwendet Maskenbelichtungs- und Abscheidungsprozesse, um präzise Muster auf einer Substratoberfläche zu erzeugen. APPLIED MATERIALS P 5000 ist eine hochmotorisierte, vollautomatisierte Maschine, angetrieben von einer 500-Watt-Entladungslampe und mit einem rezeptgesteuerten Wafer-Transportsystem. Das intelligente Design von AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 ermöglicht es Anwendern, leicht zwischen 10 verschiedenen Photolackprozessen zu wechseln, einschließlich Lithographie und Ätzen. AMAT P5000 ist in der Lage, Muster mit einem Durchmesser von bis zu 50 Nanometern zu erzeugen. Es bietet auch sowohl manuelle als auch automatische Belichtung sowie eine Funktion, mit der Benutzer lithographische Belichtungswege auswählen können. P 5000 ist bekannt für seine effiziente und zuverlässige Leistung sowie seine intuitive Benutzeroberfläche. Zu den Hauptkomponenten gehören ein Roboterarm, eine Belichtungsplattform, Steuermodule und Quarzbelichtungsgefäße. Der Roboterarm sorgt für eine genaue Platzierung von Substraten und Masken in die Belichtungskammer. Die Belichtungsplattform bietet variable Blendengrößen zur präzisen Strukturierung bei Verwendung mit Maske. Die Steuereinheiten berücksichtigen genaue Aussetzungskontrolle, Fokussierung und Oblatentransportgeschwindigkeitsanpassungen. Schließlich sind die Quarzbelichtungsgefäße während des Betriebs chemisch und thermisch undurchlässig ausgebildet. AMAT P 5000 ist eine ausgezeichnete Wahl für Chiphersteller, die eine präzise und zuverlässige Belichtung für ihre Werkzeuge benötigen. Seine Eigenschaften und Flexibilität ermöglichen es Benutzern, eine Reihe von Photolithographie-Operationen schnell und präzise durchzuführen. Seine robuste Konstruktion macht es zu einer zuverlässigen Lösung für bis zu 300mm Wafer und bietet eine hohe Flexibilität für Chiphersteller, die präzise, wiederholbare Musterverfahren benötigen. Schließlich ist die benutzerfreundliche Oberfläche und die Kompatibilität mit bestehenden Software- und Hardwaresystemen eine einfache Integration in Produktionsumgebungen.
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