Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9195270 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Plasmaprozessreaktor, der in speziellen elektrochemischen Abscheidungs- oder Ätzoperationen eingesetzt wird. Dieser Reaktor ist in der Lage, Plasmaleistungen von bis zu 50 kW bei Kammerdrücken bis zu 2 × 10-3 Torr zu liefern. Darüber hinaus umfasst dieser Prozessreaktor einen integrierten Waferlader und Entlader, integrierte Reinigungssysteme und robuste Beleuchtungssysteme. Der AMAT P-5000 Reaktor verfügt über eine Prozesskammer, die aus Metall- und Keramikkomponenten zur Abschirmung gegen statische Elektrizität und hohe Temperaturen aufgebaut ist. Die Metallkomponenten der Kammer sind gasdicht und weisen einen vollen Bohrungsabstand zwischen Prozess- und Abgaskammern zur effizienten Abgasbehandlung auf. Angewandte Materialien P 5000 Reaktor arbeitet in einer Vielzahl von Gasatmosphären einschließlich Wasserstoff, Helium, Stickstoff und Sauerstoff. Darüber hinaus hat es die Fähigkeit, Fluorkohlenwasserstoffe, Salzsäure und andere organische Gase zu verarbeiten. Die Reaktorkammer weist eine einstufige PEM-Grenzfläche auf, wobei die Abscheidung auf mehreren Substraten gleichzeitig erfolgt. Der Prozess des Abscheidens oder Ätzens wird mit einer Niederspannungs-Gleichstromquelle gesteuert. Die Reaktanden werden seriell durch Einspritzöffnungen am Außenumfang der Kammer eingespritzt. Die Energie im Plasma wird dann auf das Substrat gerichtet. Diese Energie reicht aus, um Bindungen zwischen den Reaktanden und dem Substratmaterial zu brechen, was den Abscheidungsprozess ermöglicht. Der AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reaktor umfasst ein integriertes Wafer-Beladesystem, das das Be- und Entladen von bis zu 12 Substraten auf einmal ermöglicht. Der in diesem System verwendete Roboterarm soll den menschlichen Eingriff zum Be- und Entladen minimieren. Die integrierten elctro-Reinigungssysteme sorgen für eine schnelle Reinigung zwischen den Prozessen und das Beleuchtungssystem ermöglicht einen optischen Zugriff während des Betriebs. AMAT P5000 ist ein vielseitiger und leistungsfähiger Reaktor für komplexe elektrochemische Abscheidungs- oder Ätzprozesse in unterschiedlichsten industriellen, forschenden und akademischen Bereichen. Dieser Reaktor eignet sich für viele Anwendungen, wie Lithographie, MEMS und Halbleiterherstellung.