Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196360 zu verkaufen
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ID: 9196360
Wafergröße: 8"
SACVD System, 8"
PLIS System
Process:
USG
BPSG
Robot
Storage elevator
Chemical gas cabinet
(3) Chambers
(3) Ozone generators
(3) RF Generators.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor ist ein vielseitiges Plasmabearbeitungswerkzeug mit hohem Durchsatz, das qualitativ hochwertige Ergebnisse für eine Vielzahl von Prozessanforderungen liefert. Es ist für Anwendungen zur Präzisionsätzung, Abscheidung und Oberflächenmodifizierung konzipiert. AMAT P-5000 ist ein Inline-Gerät mit zwei Prozesskammern, integrierten Roboterladesystemen und fortschrittlichen Plasmasteuerungsalgorithmen. Durch die Kombination eines fortschrittlichen Multi-Source-Plasma-Abgabesystems mit vollautomatischer Prozesssteuerung bietet APPLIED MATERIALS P 5000 ein unvergleichliches Maß an Prozesskontrolle, Wiederholbarkeit und Produktqualität. Die fortschrittliche Prozesssteuerungstechnologie von AMAT P5000 umfasst eine hochmoderne Regeleinheit, die Gas- und Plasmaparameter in Echtzeit an die Prozessanforderungen anpasst. Dies verbessert die Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Prozesse und sorgt für qualitativ hochwertige Ergebnisse. AMAT P 5000 verfügt auch über eine Reihe fortschrittlicher Plasmaquellen, die eine Vielzahl von Prozessgasen wie N2, O2, CF4 und SF6 erzeugen können. Das Vorhandensein dieser Gasquellen ermöglicht die Verwendung fortschrittlicher Prozessrezepte, die die Ätz- und Abscheidefähigkeit der Maschine verbessern. APPLIED MATERIALS P-5000 bietet darüber hinaus eine hohe Flexibilität in der Prozesssteuerung, so dass Anwender die Prozessparameter im Betrieb präzise steuern können. Dies ermöglicht dem Werkzeug, hohe Erträge an Qualitätsprodukt mit minimalem Abfall zu produzieren. Darüber hinaus ermöglicht das Asset dem Bediener die Anpassung von Prozessvariablen an die spezifischen Anforderungen der Anwendung, wodurch eine Optimierung der abgestimmten Prozesse möglich ist. Die Anlage kann auch einfach in externe Prozesssteuerungseinrichtungen integriert werden, so dass komplexere Prozesse genau durchgeführt werden können. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor ist ein sehr vielseitiges und robustes Plasmabearbeitungsmodell, das für Produktionsleistung und fortschrittliche Prozessfähigkeiten entwickelt wurde. Seine fortschrittlichen Steuerungsalgorithmen, integrierte Robotik und vielseitige Gasquellenoptionen machen es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, die eine hohe Prozesskontrollgenauigkeit erfordern. Die hohe Durchsatzleistung und die Fähigkeit, Prozessparameter schnell anzupassen, machen es zu einer attraktiven Lösung für Implementierungen auf Produktionsebene, bei denen Zeit und Kosteneffizienz entscheidend sind.
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