Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196361 zu verkaufen
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ID: 9196361
Wafergröße: 8"
PECVD System, 8"
Wafer sense
Robot
Storage elevator
Ergo cassette loaders
Electrical / Pump rack
UNIT INSTRUMENTS, 1660
RF Matching network
RIF Rack
(2) EDOCS With rack
Mini controller
Monitor rack
Heat exchanger
Tool cables
Lamp modules
Nitride PARC
(4) Chambers
Missing parts:
Process kits
OEM Mouse
Process:
USG
SiN.
AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Hochleistungshalbleiterverarbeitungsreaktor, der eine Vielfalt von Aufgaben durchführen kann. Sie wird hauptsächlich in Produktionsprozessen wie Lithographie, Ätzen, Epitaxie und Implantation eingesetzt. AMAT P-5000 verfügt über eine große 225 mm Kammer, die eine Vielzahl von Substratformen aufnehmen kann. Es verfügt über eine in-situ Adapterplatte für einfaches Setup sowie eine horizontal montierte Auspuffhaube für ein besseres Wärmemanagement. APPLIED MATERIALS P 5000 ist mit zwei unabhängigen Quellsteckplätzen ausgestattet, die konfiguriert werden können, um sowohl Step & Repeat (S&R) als auch Continuous Scan (CS) Lieferung von Prozessgasen bereitzustellen. Dies ermöglicht einen erhöhten Durchsatz bei gleichbleibenden Ergebnissen. Darüber hinaus umfasst AMAT P 5000 ein proprietäres Endura Gas Management Equipment, das es dem Anwender ermöglicht, den Gasfluss zur Prozesskammer genau zu steuern. Das Endura Gas Management System verfügt zudem über einen automatisierten Reinigungsprozess, der Ausfallzeiten reduziert und Abfälle minimiert. P5000 ist auch mit einer ganzen Reihe von Temperatursteuerungsfunktionen ausgestattet. Es verfügt über eine hochgenaue Temperaturregulierungseinheit, die die Temperatur in der Kammer auf innerhalb +/− 0,5 ° C hält. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 enthält auch eine ZAC-Maschine (Zone Action Control), die die Überprüfung der Gleichmäßigkeit auf dem gesamten Substrat ermöglicht. Darüber hinaus kann AMAT P5000 entweder mit dem Endura Standard oder dem Advanced Gas Management Tool kombiniert werden, sodass Benutzer eine unbegrenzte Anzahl von Rezepten und eine automatisierte Gasmischung nutzen können. Durch seine hohe Leistung und Genauigkeit ist APPLIED MATERIALS P5000 ideal für Produktionsprozesse, bei denen branchenführende Ausbeute, Wiederholbarkeit und Zykluszeit gewünscht werden. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Spannungs- und Leistungsanforderungen zu handhaben und kann Wafer bis zu 11 "im Durchmesser aufnehmen. Darüber hinaus wurde AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 für eine schnelle Einrichtung konzipiert, so dass Benutzer schnell einsatzbereit sind. Mit seiner überlegenen Leistung und robustem Design ist P-5000 die perfekte Lösung für jede Halbleiterproduktionsumgebung.
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