Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9199844 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein hochmoderner Niederdruck-Plasmareaktor zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Diese Ausrüstung ist speziell für die kontrollierte Abscheidung, Ätzung und Reinigung verschiedener Materialien und Oberflächen ausgelegt. AMAT P-5000 ist in der Lage, Photolackanwendungen mit hohem Seitenverhältnis zu verarbeiten. Es ist einzigartig unter Plasmasystemen, da APPLIED MATERIALS P 5000 fortschrittliche Materialien sowohl für Front-End-of-Line (FEOL) als auch für Back-End-of-Line (BEOL) -Operationen handhaben kann. Es ist mit einem Hochfrequenz-Hochfrequenzgenerator (RF) ausgestattet, der bis zu 400 W HF-Leistung liefert, einer einzigartigen Prozesskammer, die eine ausgezeichnete Plasmagleichförmigkeit und Auswahlfähigkeit sowie eine leistungsstarke programmierbare Automatisierung bietet, die für Substrate auf Siliziumbasis optimiert wurde. AMAT P 5000 ist ideal für Prozesse mit hohem Seitenverhältnis, wie die Strukturierung von schmalen Maßlinien und Abstandshaltern. Es bietet hervorragende Ätzgeschwindigkeit und Selektivität durch den Einsatz eines integrierten Hot-Wall-HF-Stromgenerators, der eine Lieferung von bis zu 400 W HF-Leistung ermöglicht. Dies führt zu einem großen Bearbeitungsfenster, das dazu beiträgt, die Anzahl der Prozessschritte zu reduzieren, die erforderlich sind, um ein verbessertes Prozessergebnis zu erzielen. AMAT P5000 verwendet ein internes Ätzgas bei einem Druck von 0,1-100 mTorr mit Temperaturregelung bis 450 ° C. Es bietet ein leistungsfähiges Automatisierungssystem, das die optimale Kombination von Gasfluss, Temperatur und Druck während des gesamten Prozessablaufs ermöglicht. Darüber hinaus können die Geräteeinstellungen für eine Vielzahl von Prozessen einfach geändert werden. Das proprietäre Kammerdesign der Maschine besteht aus einem fortschrittlichen Dual-Mode-wassergekühlten PREDSTORM® -Liner, der die Ungleichmäßigkeit des Plasmas effektiv reduziert und die Prozessfähigkeit und Wiederholbarkeit verbessert. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 patentierte vertikale Geometrie thermisch optimierte radiale längere (VG Tylor) Einspritzung Werkzeug effizient versorgt Ihren Prozess mit Abgas (Vakuum) und Prozess & Spülung Gase. P5000 bietet exzellente PC- und Mobilkommunikationsfunktionen, sodass Ihre Mitarbeiter das Asset von überall aus überwachen und verwalten können. Dieses Modell nutzt ein leistungsstarkes Ofensteuerungsmodul (OCM) zur exakten Temperaturregelung, In-situ-Diagnose und vollständigen Wafer-Prozesssteuerung für maximale Prozesswiederholbarkeit. Abschließend ist APPLIED MATERIALS P-5000 ein anspruchsvoller High-Tech-Wafer-Reaktor, der eine beispiellose Prozesskontrolle bietet und eine qualitativ hochwertige Abscheidung, Ätzung und Reinigung ermöglicht. Es bietet überlegene Gleichmäßigkeit des Gases, eine ausgezeichnete Temperaturregelung und beeindruckende PC/mobile Kommunikationsfunktionen. Wenn Ihre Anlage qualitativ hochwertige Verarbeitung mit hohem Seitenverhältnis durchführen möchte, ist P-5000 die ideale Wahl.