Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9203417 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reaktor ist ein Mehrzweck-, Produktionsmaßstab Ätz- und Abscheidungswerkzeug. Es ist ein fortschrittliches Vakuumverarbeitungssystem, das sich ideal für die Erstellung modernster Dünnschichtkomponenten und -geräte eignet. AMAT P-5000 ist mit einer rohrförmigen, einwandigen Edelstahlkammer aufgebaut, die robuste Zuverlässigkeit und einfache Montage bietet. Es steht in 156,5 cm Höhe und befindet sich in einem doppelwandigen Edelstahlgehäuse mit einem 20-Zoll-Schließdurchmesser und einer Druckfähigkeit von bis zu 6 Torr. Die Kammer selbst hat eine Normpumpgeschwindigkeit von 106 l/s und ein Volumen von 187 Litern. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 besteht aus Polysilizium, Titansilizid und Siliziumnitrid-Materialien. ANGEWANDTE MATERIALIEN P-5000 verwendet zwei primäre bildgebende Konfigurationen; den Bildprozessor mit kreisförmiger Ansicht und den Bildprozessor mit Planansicht. Der Circular-View-Prozessor ist für Waferätz- und andere Musterprozesse ausgelegt, während der Plan-View-Prozessor den kompletten Substratabscheidungsprozess ermöglicht. Beide Prozessoren setzen auf eine Dual-Source-Beleuchtung, die eine detaillierte Abbildung der gesamten Kammer ermöglicht. P-5000 wird durch zwei FM-300 elektronische Netzteile mit einer Reichweite von bis zu 800 Watt und einer Präzisionsregelung von 1% angetrieben. High-End-Kondensatoren und Rotameter ermöglichen eine präzise Steuerung der Ätz- und Abscheideraten. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 verwendet ein Rundum-Vakuum-Dichtungssystem, bestehend aus einer Kombination aus Gasleitblechen, beheizten Schiebern, Heizungen und Widerständen und speziellen Kryokühlern. Dadurch werden alle Prozesskomponenten abgedichtet, mögliche Leckstellen entfallen und ein zuverlässiges Impulsätzen bis 800W ermöglicht. Das System ist in einem modernen Reinraum installiert und bietet eine hervorragende Kontaminationskontrolle mit potenziellen Mindestdurchsätzen von 3ppb Partikeln bei einer Leistung von 0,5 Mikrometern. Eine unabhängige Lastverriegelungskammer bietet eine hervorragende Waferbearbeitung, während die einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche einen schnellen und effizienten Betrieb ermöglicht. P 5000 ist entworfen, um die höchsten Standards für Qualitätssicherung und Produktionseffizienz zu erfüllen, bietet viel bessere Erträge und verringerte Mängel für große Produktion. Sein fortschrittliches Reaktordesign bietet eine hervorragende Kontrolle, Zuverlässigkeit und Leistung und ist damit einer der zuverlässigsten Werkzeugsätze seiner Klasse.
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