Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226363 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein großflächiger Einzel-Wafer-Leistungsreaktor für hochproduktive resistive und kapazitive Ätzanwendungen. Es ist der erste Netzätzer mit einer 5-Zoll-Wafer-Fähigkeit. Das Werkzeug verfügt über eine mehrstufige bidirektionale Plasmaquelle, vier Elektroden mit einer optionalen fünften Elektrode und ein einstellbares Dual-Ionen-basiertes Fenster. Die großflächige Ätzkammer ermöglicht bis zu fünf Wafer in einer einzigen Charge, was einen höheren Durchsatz mit weniger Prozesszyklen ermöglicht. AMAT P-5000 verfügt über mehrere Gaseinspritzöffnungen, so dass mehr Gase in die Ätzkammer eingespritzt werden können, was zu einer besseren Ätzprozesskonsistenz und Kontrolle führt. Das Werkzeug umfasst auch eine rückseitige Kühleinheit, die für eine gleichmäßige Kühlung aller Scheiben in der Ätzkammer sorgt. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Wafer gleichmäßig geätzt und gekühlt wird. Das Tool bietet zudem ein integriertes Prozessüberwachungssystem mit automatischer Gasnivellierung, Temperaturregelung und HF-Echtzeit-Prozessüberwachung. Die integrierte Stromversorgung steuert die Leistungspegel in der Ätzkammer und die Gasflusssteuerung überwacht den Gasfluss über den Wafer. APPLIED MATERIALS P 5000 verfügt auch über ein automatisches Prozess-Tracking-System, um genaue und wiederholbare Ätzergebnisse zu gewährleisten. P 5000 verfügt über eine erweiterte Prozesssteuerung, mit der Benutzer Prozessparameter anpassen können, um gewünschte Produktergebnisse zu erzielen. Dazu gehört die Möglichkeit, Ätzstrompegel, Spitzenleistung und Dauer einzustellen und unter anderem die Breite des HF-Impulses einzustellen. Dadurch eignet sich das Werkzeug besonders für fortgeschrittene Fertigungsprozesse. P-5000 bietet auch eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, darunter eine erweiterte Schutzabdeckung, Metallkollisionsdetektion und begrenzte Strahlenleckage. Das Werkzeug erkennt auch automatisch Waferbruch und andere Sicherheitsalarme. Zusammenfassend ist AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 ein großflächiger Einzel-Wafer-Leistungsreaktor, der für hochproduktive resistive und kapazitive Ätzanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine mehrstufige bidirektionale Plasmaquelle, vier Elektroden mit einer optionalen fünften Elektrode und ein einstellbares Dual-Ionen-basiertes Fenster. Das Tool umfasst auch integrierte Prozessüberwachung, erweiterte Prozesskontrolle und eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, so dass es eine ideale Wahl für fortgeschrittene Fertigungsprozesse ist.