Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9232761 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein elektronisches Implantat-Mikroelektronikgerät zur zuverlässigen Bildung von Kontaktwölben und zur Verbindung von Strukturen in integrierten Schaltungen. Der Reaktor erreicht dies durch eine hochtemperatur-, hochvakuum-, wasserstofffreie Prozessfähigkeit in einer einzigen Plattform. AMAT P-5000 Reaktor ist mit einem beheizbaren Bell Jar, einem Substratheizer und mehreren Elektroden ausgestattet. Das beheizbare Glockenglas ist ein Glasrohr, das im Vakuum arbeitet und mehrere Hot Spots enthält. Die Substratheizung dient zur gleichmäßigen und genauen Regelung der Substrattemperatur. Mehrere Elektroden, die mit Stromversorgungen verbunden sind, dienen zur Erzeugung eines Lichtbogens und bieten ein schnelles und zuverlässiges Verfahren zum Glühen oder Implantieren von Kontaktwölben und Verbindungsstrukturen. Die Komponenten des EINSATZMATERIALIEN P 5000 Reaktors sind alle in der Lage, Temperaturen bis zu 1500 ° C zu erreichen, mit einem Vakuumniveau von weniger als 6.4e-4 Torr. Dieses System umfasst auch ein automatisiertes Gasfördersystem, das Flexibilität bei Prozessrezepten ermöglicht. Dadurch kann der Anwender die Temperatur, den Druck und die Fließgeschwindigkeit der bei der Verarbeitung verwendeten Gefahrstoffe genau steuern. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Reaktor ist für den Betrieb unter extremen Bedingungen konzipiert und bietet Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. Das Leistungssteuerungssystem verfügt über eine digitale Pulsweitenmodulation, die eine präzise Steuerung des Lichtbogens ermöglicht. Die Reaktoren weisen mehrere Kammern auf, die eine parallele Durchführung mehrerer Prozesse ermöglichen. Dies ermöglicht es mehreren Benutzern, eine Vielzahl von Wafergrößen und Formgrößen anzuwenden. Darüber hinaus ermöglicht das optionale elektrostatische Spannfutter (ESC) eine präzise Steuerung der elektromechanischen Parameter des Substrats und des Wafers, wodurch ein gleichmäßiger Stromfluss an die Prozessstellen ermöglicht und die Variabilität durch die Inkonsistenzen zwischen den Düsen verringert wird. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reaktor bietet fortschrittliche Funktionen wie einen Hochfrequenzgenerator (RF) und eine Infrarot (IR) -Kamera. Der HF-Generator sorgt dafür, dass jedes Gerät mit HF-Komponenten in sicheren Richtlinien betrieben wird, um einen Geräteausfall zu verhindern. Die IR-Kamera hilft dem Benutzer, Bereiche mit höherer Temperatur schnell zu identifizieren und ermöglicht schnellere und genauere Prozesse. Die geringe Größe P5000 Reaktors ermöglicht einen leistungsstarken und zuverlässigen Prozess auf minimalem Raum, was zu Kosteneinsparungen führt. Die modularen Komponenten und integrierten Funktionen bieten Skalierbarkeit und Flexibilität und machen P-5000 Reaktor zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen der elektronischen Implantatmikroelektronik.