Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9245114 zu verkaufen
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ID: 9245114
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
PECVD System, 8"
With (2) process chambers
1994 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein horizontaler, einziger Waferreaktor, der typischerweise zur Verarbeitung von Materialien wie Silizium und Galliumarsenid verwendet wird, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es ist ein hochpräzises Werkzeug, das die Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet, die bei der Arbeit mit dem empfindlichen Material, das bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird, erforderlich ist. AMAT P-5000 verfügt über eine Reihe von Funktionen und Funktionen, die zur Anpassung der Reaktionskammer an die spezifischen Bedürfnisse des Benutzers verwendet werden können. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 wird von AMAT/APPLIED MATERIALS Endura Electronics gesteuert und hat eine aktive Kammergröße von 8 x 8 Zoll (20,6 x 20,6 cm) und kann mit Drücken von 29hPa bis 700hPa (0,1 bis 5 Torr) arbeiten. Darüber hinaus kann P 5000 mit einer Reihe von verschiedenen reaktiven Gasen kombiniert werden und unterstützt eine Vielzahl von Temperaturregelverfahren, einschließlich Widerstandsheizung und thermische Kühler. Die maximale Rampengeschwindigkeit auf APPLIED MATERIALS P-5000 ist größer als 600 ° C pro Minute und seine Sollgenauigkeit ist größer als 0,1 ° C. Die Innenwände der Kammer verfügen über die Dynamical Indicative Stress Isolation Technology (DIST), die so konzipiert ist, dass sie ein konsistentes Temperaturprofil aufrechterhalten und sicherstellen, dass die Proben keinen signifikanten thermischen Gradienten ausgesetzt sind. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 verfügt über eine breite Palette von Überwachungs- und Kontrollfunktionen, einschließlich Prozessüberwachung, Vakuumkammer, Druck- und Flusssteuerung, Temperaturregelung und Datenprotokollierung. APPLIED MATERIALS P5000 ist für die nahtlose Integration mit anderen AMAT-Verarbeitungssystemen, einschließlich ihrer Endura- und Centura-Werkzeugsysteme, sowie der Automatisierungssoftware waferware konzipiert. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Automatisierungsstufen und bietet dem Anwender eine effiziente und kostengünstige Möglichkeit, die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Insgesamt ist AMAT P 5000 ein hochpräziser Reaktor, der die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der empfindlichen Halbleiterbauelemente bietet.
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