Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9248604 zu verkaufen
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ID: 9248604
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
PECVD System, 8"
(2) Chambers
No gas panel
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein produktionsfähiger, kammerbasierter Wafer-Reaktor, ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieser Reaktor ermöglicht die Bildung hochwertiger Schnittstellen für eine Vielzahl von IC-Anwendungen. Es bietet eine beispiellose Prozessebene, Skalierbarkeit und einfache Integration für den Halbleiterbauelementehersteller. AMAT P-5000 Reaktor verfügt über eine Tieftemperatur-Plasmaverbesserungskammer (PEEC) und nutzt fortschrittliche Ätz- und Abscheidungsprozesse. Das PEEC verfügt über eine 650 mm Prozesskammer mit einer doppelseitigen Glühentladung und integriertem Wafer-Handling. Das Wafer-Handling-System automatisiert das Be- und Entladen und Übergangsbetrieb der Kammer und bietet eine vielseitige Ätz- und Abscheideplattform. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 bietet auch einen hochgenauen, vielseitigen Ätzprozess, mit dem Gerätehersteller verschiedene integrierte Schaltungsdesigns schnell und effizient erstellen können. Der Reaktor kann qualitativ hochwertige Schnittstellen für Hochleistungs-, Hochspannungs- und Hochfrequenzgeräte bereitstellen; sowie optisches und nichtflüchtiges Speicherdesign mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Morphologie. Der Reaktor verfügt außerdem über ein Dual-Frequenz-Netzteil, das die Möglichkeit bietet, eine Frequenz zwischen 20-120 kHz zu wählen, was eine präzise Steuerung des Prozesses ermöglicht. Dies ermöglicht Geräteherstellern eine enge Kontrolle über Prozessparameter und die Ausgabe von qualitativ hochwertigen integrierten Schaltungen. Zusätzlich zu den Ätz- und Abscheideprozessen bietet P5000 Reaktor erweiterte Überwachungs- und Steuerungsfunktionen, mit denen Gerätehersteller Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Leistungsniveau einfach anpassen und überwachen können. Insgesamt ist P 5000 ein hochfähiger und anpassbarer Wafer-Maßstab-Reaktor, ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Mit seinen vielseitigen Ätz- und Abscheideprozessen, überwachten und gesteuerten Prozessparametern und fortschrittlichen Wafer-Handling-Maschinen ist AMAT P 5000 die ideale Reaktion für Gerätehersteller, die für ihre integrierte Schaltungsanwendung eine produktionsfähige Lösung im Produktionsmaßstab benötigen.
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