Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9255615 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Ion Implanter ist ein Hochstrom-Implantierer, der in der Lage ist, Hochdurchsatz-Implantation von weit reichenden Dotierstoffspezies in große Substrate zu implantieren. Es wurde mit einem 4-Megawatt Verstärker entwickelt und ist in der Lage, Implantat-Geschützfrequenzen von 1000 Hz bis 10 kHz zu erzeugen, was eine Dosisgleichförmigkeit von +/− 0,5% bietet. Dies ermöglicht die Herstellung von hochgleichmäßigen Dotierstoffen ohne räumliche Schwankungen. AMAT P-5000 verfügt über eine außergewöhnliche Implantatfähigkeit für Halbleiterprozesse einschließlich Source/Drain, Gate und Silizid. Sein verbessertes Strahlmanagement bietet substratartige Präzision der Ionenstrahlen, was zu minimalem Sputtern, verbesserter Prozesssteuerung und höherem Durchsatz führt. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 verwendet eine Pistole, die groß genug ist, um halbtransparente Substrate von bis zu 8 "Breite zu injizieren. Es verfügt über einen 4-Millionen-Volt-Verstärker, der zur Versorgung der Pistole mit bis zu 2000 Ampere verwendet werden kann. Diese Integration des neutralisierten Ionenstrahls mit enormem Strahlstrom minimiert Strahlgröße, Felgeneffekte und Gleichmäßigkeit. Die integrierte Plasmaquelle optimiert auch das Implantat neuer Materialien wie SiGe, III-V-Verbindungen usw. AMAT P5000ion Implanter ist eines der effizientesten Werkzeuge für die Halbleiter- und MEMS-Verarbeitung. Dieser Implantierer ist für den Einsatz in einer Produktionsumgebung mit hohem Durchsatz konzipiert, in der Gleichmäßigkeit und Genauigkeit von größter Bedeutung sind. Es ist in der Lage, Strahlen abzugeben, die für eine Vielzahl von Anwendungen leicht eingestellt werden können. Seine integrierte Plasmaquelle und 4-Megawatt Verstärker geben ihm die Fähigkeit, Material mit einer Vielzahl von Dotierstoffspezies auf einheitliche Weise zu beeinflussen. Darüber hinaus machen seine hohe Durchsatzfähigkeit, erhöhte Energieflexibilität, verbessertes Strahlmanagement und Strahlgrößensteuerung es zu einem idealen Werkzeug für die Spanherstellung.
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