Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9256416 zu verkaufen

ID: 9256416
Weinlese: 1995
System Process: PE-SION 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor ist eine hochmoderne, hocheffiziente Plasmaabscheidungskammer, die für kritische Schnittstellentechnik und Prozessfähigkeiten in der industriellen Produktionsumgebung konzipiert ist. Dieses Tool wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Prozessmöglichkeiten in einem robusten Design zu bieten, das eine schnelle Einrichtung und wiederholbare Hochleistungsabscheidungsergebnisse ermöglicht. AMAT P-5000 Reaktor verfügt über eine Hochtemperatur (450 ° C) Vakuumkammer mit einer Aluminiumlegierung Kammerauskleidung. Im Inneren ist ein Mehrbrennergaseinspritzsystem zur plasmaunterstützten Oxid- und Nitrid-Filmabscheidung in der Lage. Das Design verfügt auch über hervorragende Energiewellenformfähigkeiten, einschließlich Pulswellenmodulation mit einer Hochleistungs-Magnetronquelle, die eine präzise Kontrolle der Materialabscheidungsraten und -schichten ermöglicht. Der APPLIED MATERIALS P 5000 Reaktor eignet sich mit seinem effizienten energiesparenden Design gut für Hochleistungsabscheidungsprozesse. In Bezug auf Genauigkeit und Präzision ermöglicht das Werkzeug eine präzise Verwaltung von Ionenquelle, Substratgeometrie und Oberflächentemperatur. Durch die integrierte Doppelkammerarchitektur können zwei separate Sätze von Abscheideparametern für anspruchsvolle Anforderungen eingerichtet werden. Zusätzlich kann die Filmabscheidung mit einem leistungsstarken, aber flexiblen „Kippschalter“ eingestellt werden, der die Filmeigenschaften während des Abscheidungsprozesses verbessert. Neben seiner robusten Bauweise eignet sich P-5000 Reaktor für den Einsatz mit einer Vielzahl von Substraten. Insbesondere eignet es sich gut für Siliziumscheiben sowie für temperaturempfindliche Substrate wie Glas, Verbundwerkstoffe und Polyimid. Darüber hinaus ermöglicht seine Verträglichkeit mit einer Vielzahl von Materialien die aufwendige Abscheidung von Mehrschichtstapeln, die in vielen Fertigungsanwendungen üblicherweise erforderlich sind. Der AMAT P 5000 Reaktor ist ein leistungsstarkes Abscheidungswerkzeug, das eine Reihe präziser Abscheidungsanforderungen unterstützt. Sein robustes Design ermöglicht präzise und wiederholbare Hochleistungsabscheidungsergebnisse bei präziser Steuerung der Prozessparameter. Sein Mehrbrennergaseinspritzsystem ist in der Lage, präzise Materialabscheidungsraten und Schichtfilmabscheidung zu erzielen. Mit seinem effizienten energiesparenden Design und der breiten Substratverträglichkeit ist dieses hochmoderne Werkzeug in der Lage, die genauen Anforderungen vieler industrieller Produktionsanwendungen zu erfüllen.
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