Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9262471 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein fortschrittliches Plasmabearbeitungswerkzeug zur Herstellung integrierter Schaltungen. Es ist für die Herstellung von High-Density, Ultra-Low-Temperatur, Metall-Nanopattern mit einheitlichen Eigenschaften. Zu den Merkmalen gehören ein In-situ-Diagnosesystem und ein automatisierter Hochfrequenzgenerator, der sicherstellt, dass die Plasmabearbeitung wiederholbar und zuverlässig ist. Darüber hinaus bietet sein fortschrittliches Design ein ultrahohes Seitenverhältnis zwischen der Elektrode und dem Substratbereich für optimale Produktqualität. AMAT P-5000 Reaktor besteht aus einer Ionenquelle, einem Ionisator und einem Substrat. Die Ionenquelle ist eine Keramikkammer, die das Plasma aufnimmt und durch Mikrowellenenergie angetrieben wird. Der Ionisator erzeugt ein sehr starkes elektrisches Feld, um Gasmoleküle in ihre positiven und negativen Ionen zu zerlegen, während das Substrat die Metall-Oxid-Nitrid-Oxid (MONO) -Schicht hält. Roatierende kapazitive Elektroden, die sich in der Kammer befinden, helfen durch ihre rotierende Anordnung, die Gleichmäßigkeit des Plasmas über das gesamte Substrat zu erhalten. APPLIED MATERIALS P 5000 verwendet einen umfassenden mehrstufigen Plasmabearbeitungsprozess, um eine Auflösung von hoher Dichte unter 10 nm zu erreichen. Dies beinhaltet einen ersten Plasmavorbehandlungsschritt und Oxidätzen, gefolgt vom Hauptgasschritt, und endet mit Reinigungs- und Nachbehandlungsschritten. Der Vorbehandlungsschritt sorgt für einen Tieftemperaturprozess und reinigt das Substrat vor der Erstellung von Mustern. Es kann aufgrund der hohen Ionenenergie und der hohen Temperatur des Plasmas auch als Ätzmittel wirken. Der Hauptgasschritt besteht aus einer Vielzahl von Gasen zur Aktivierung des Substrats sowie Ätzen/Entfernen der gemusterten MONO-Schicht. Schließlich entfernt der Reinigungsschritt Restgas von der Substratoberfläche und stellt die Integrität der MONO-Schicht wieder her. Die überlegenen Fähigkeiten von P5000 ermöglichen die Produktion von anspruchsvollen hochwertigen Geräten mit dem In-situ-Diagnosesystem, das die Ursache und den Zeitpunkt jedes Problems identifizieren kann. Dies in Kombination mit dem automatisierten Hochfrequenzgenerator trägt dazu bei, eine gleichbleibende Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat aufrechtzuerhalten und damit einen Wettbewerbsvorteil für Unternehmen zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 ist auch hochgradig anpassbar und ermöglicht maßgeschneiderte Designs je nach Kundenwunsch. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS P-5000 ein fortschrittliches Plasmabearbeitungswerkzeug, das bei der Herstellung von ultrapräzisen Metall-Nanopattern mit einheitlichen Eigenschaften unterstützt.