Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9288566 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reaktor ist eine vielseitige Hochtemperatur-Prozesskammer für eine Reihe von Halbleiteranwendungen. Dies ist eine kontinuierliche, Hochtemperatur-Einheit, die verwendet wird, um eine Vielzahl von Arrays mit verschiedenen Materialien zu erstellen, einschließlich Silizium, Galliumarsenid, Kupfer und Germanium. AMAT P-5000 besteht aus einem Körper, einer mehrzonigen zylindrischen Kammer, vier Transportmodulen und einem Reaktionsmodul. Der Körper besteht aus einem Edelstahlgefäß und einem Temperaturregelsystem. Das Temperaturregelsystem ist ein kombiniertes konvektiv-strahlendes System, das die Kammer und ihren Inhalt auf die gewünschte Prozesstemperatur erwärmt. Am entgegengesetzten Ende der Prozesskammer befindet sich eine Gaseintrittsöffnung, die Argon und andere Prozessgase einspeist. Es enthält auch ein Reaktionsgefäß, einen Ofen und einen Satz Antriebsmotoren für die Automatisierung. Die zylindrische Mehrzonenkammer ist das Herzstück von APPLIED MATERIALS P 5000, wo die plasmaverbesserten Prozesse stattfinden. Es besteht aus der Quellzone, der UMM-Zone (Ultimate Method) und der Reaktionszone. Die Quellzone bietet Hochfrequenzleistung, um die Ionisation der Prozessgase zu ermöglichen. Die UMM-Zone dient zum Mischen und Abscheiden von Quellmaterial auf dem Substrat mit gleichmäßiger Abdeckung. Die Reaktionszone dient zur Abscheidung und Ätzung der Wafer und zur Erzeugung von Mustern, Merkmalen und anderen Mikrostrukturen. Die vier Transportmodule sind für die Bewegung der Substrate und den Transport der beheizten Gase in der Kammer verantwortlich. Die ersten beiden Module Laden und Entladen befinden sich außerhalb der Kammer. Sie öffnen und schließen, um Wafer in die Kammer einzuführen und nach Beendigung des Prozesses zu entfernen. Die restlichen beiden Module Shuttle und GIS bilden die dichte Abdichtung um die Prozesskammer, so dass die beheizten Gase zurückgeführt werden können und sie nicht entweichen können. Schließlich ist der Reaktor P 5000 mit einem Reaktionsmodul ausgestattet, das aus Prozesskammern besteht, die den Druck regulieren und die für den gewünschten Prozess benötigte Gleichstromleistung und HF-Leistung bereitstellen. Diese umfasst einen Satz von Prozesselektroden, Wechselstrom- und Gleichstromversorgungen, einen Plasmagenerator und eine programmierbare digitale Steuerung. Zusammenfassend ist APPLIED MATERIALS P5000 Reaktor eine robuste Hochtemperatur-Prozesskammer, die zu anhaltenden Hochtemperaturprozessen fähig ist. Es nutzt eine Kombination aus Hochspannung und Plasma, um High-End-Prozesse zu katalysieren. Das Design ist flexibel und effizient und ermöglicht die Herstellung hochwertiger Teile mit komplexen Strukturen.