Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9292243 zu verkaufen
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ID: 9292243
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
PECVD SiO2 / SiN /dry etcher, 6"
Mark II frame
Chambers and gas configuration: Dry etch, TEOX, SIN
(3) Chambers for Dry Etch, TEOX, SIN
(1) PTEOS Chamber
(1) Oxide etch Chamber
(1) SiN Chamber
A: 50 sccm N2, 1 slm N2, 1 slm O2, 3 sccm N2, SiH4
B: 200 sccm Ar, 3 slm N2, 3 000sccm N2, 1 slm N2, 100sccm NH3, 500 sccm N2, (SiH4)
C: 1100 sccm N2, 1 sccm N2, 3 slm N2 TEOS Bubbler
Chuck type: Mechanical clamp
Elevator size: Short
Frame type: Standard
Loader type: Manual
Loadlock
Gas box: Hot
RF Matches
Indexers
Automated cassette-to-cassette handling
Turbo pumps
Controllers
No Remote AC BOX
No generator rack
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 reactor ist ein Hochleistungsreoxidationswerkzeug, das in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es wurde speziell entwickelt, um das Design und die Leistung der heutigen integrierten Schaltungen zu verbessern und wird zur Re-Oxidation von Aluminiumfolien und dielektrischen Filmen verwendet. AMAT P-5000 bietet wiederholbare und zuverlässige Oxidationsprozesse, die zu reduzierten Zykluszeiten, höherem Durchsatz und geringeren Kosten führen. APPLIED MATERIALS P 5000 ist die modernste Re-Oxidationstechnologie der Branche mit einer einzigartigen und anspruchsvollen Architektur, die leistungsstarke Hardware-, Prozess- und Softwaretechnologien umfasst. Die Hardware des AMAT P5000 Reaktors umfasst einen Hochtemperatur-Siliciumcarbid-Suszeptor und -Ofen, eine Verdampfungsquelle zur Versorgung von aktivem Material, ein Quarzspaltrohr mit Schutzgas und ein Prozessgasfördersystem. Alle diese Komponenten kommen zusammen, um einen optimierten Oxidationsprozess zu ermöglichen. Die Prozesssteuerungssoftware von P5000 ermöglicht es dem Benutzer, Echtzeit-Experimente durchzuführen, um seine Prozessparameter zu optimieren, Temperatur und Durchflussraten zu steuern und die chemische Umgebung innerhalb der Kammer zu konditionieren. Die Software beinhaltet sowohl kinetische als auch Prozesssteuerungsfunktionen, wodurch Benutzer die ultimative Kontrolle über ihren Oxidationsprozess erhalten. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 nutzt AMAT ausgeklügelte Verfahrenstechnik, die vier verschiedene Temperaturzonen für jede der Kammer zugeführte Folie aufweist. Dadurch wird ein präziser, wiederholbarer Oxidationsprozess bei jedem Durchlauf gewährleistet. Darüber hinaus ermöglicht der „Turbo-Modus“ des Systems Überspannungen der Sauerstoffversorgung während Prozessübergängen. Dies hilft, ein gleichmäßigeres Oxidationsprofil über Wafer zu erzielen, was zu einer verbesserten Ausbeute führt. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 Reaktor ist ein ideales Werkzeug für die präzise und präzise Anwendung von Elektroden auf Aluminiumfolien und Dielektrika. Es ist in der Lage, präzise und wiederholbare Oxidationsprozesse bereitzustellen, was zu reduzierter Zykluszeit, höherem Durchsatz und geringeren Kosten führt. Das System wird von der leistungsstarken Prozesssteuerungssoftware APPLIED MATERIALS unterstützt, die den Anwendern die ultimative Kontrolle über ihre Oxidationsprozesse gibt.
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