Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294469 zu verkaufen
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ID: 9294469
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
CVD System, 8"
Process: LTO CVD, TEOS
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist eine komplette, Dual-Wafer, Parallel-Platten-Reaktor-Ausrüstung, die in Halbleiter und fortgeschrittene optoelektronische Bauelementherstellung verwendet wird. Seine Plattformen sind hochgradig konfigurierbar, was Präzision und Kontrolle über mehrere Prozessschritte gleichzeitig ermöglicht. AMAT P-5000 besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten. Das Physik-Paket oder PCB ist der Hauptprozessor des Systems und bietet die Kontrolle über alle anderen Komponenten und Prozessparameter. Dazu gehören eine integrierte Gasgemisch-Steuereinheit, Temperatur- und Drucksensoren sowie eine Vakuummaschine mit Kühlfalle. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 verwendet ein Parallelplattenreaktor-Design mit zwei symmetrischen elektrostatischen Platten oder Elektroden, die zu beiden Seiten der Kammer platziert sind. Diese Konstruktion ermöglicht eine höhere Verarbeitungseffizienz, geringere Prozessdrücke und eine bessere Einschränkung der Reaktantgase. Die Platten sind aus Materialien wie Graphit, Keramik oder Metall gefertigt. Da die Substrate zwischen den Platten angeordnet sind, kann die Temperatur und/oder der Druck der Prozesskammer mit von der Leiterplatte geregelten Luft- oder Gasgemischen reguliert werden, um die Wachstumsrate des gewünschten Materials zu manipulieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN P-5000 nutzt HF-Energie, um die Ionisation des Reaktantgases zu unterstützen und so zur Dünnschichtabscheidung beizutragen. Die HF-Leistung zu den Elektroden kann moduliert werden, um das Materialwachstum unter verschiedenen Bedingungen zu untersuchen. APPLIED MATERIALS P5000 bietet auch integrierte messtechnische Funktionen. Es ist mit mehreren optischen Detektionswerkzeugen ausgestattet, die die dünnsten Schichten eines Materials messen. Diese Werkzeuge können die Störung des durch die Probe hindurchtretenden Lichtes erfassen sowie die Dicke der abgeschiedenen Schichten und die Oberfläche der Probe messen. Dies kann bei belichteten Schichtcharakterisierungen und optischen Leistungsmessungen äußerst nützlich sein. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 ist ein äußerst effizientes Reaktorwerkzeug, das eine eng gesteuerte Prozessumgebung für die Herstellung von Halbleiter- und optoelektronischen Bauelementen bietet. Mit seiner Kombination aus integrierter Prozesssteuerung, modularem Reaktordesign und messtechnischen Fähigkeiten ist P-5000 ein leistungsstarkes Werkzeug für fortgeschrittene Gerätehersteller.
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