Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9296351 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist eine vielseitige, hochleistungsfähige CVD-Reaktorausrüstung (Chemical Vapor Deposition), die für die fortgeschrittene Abscheidung von dünnen Schichten auf Siliziumbasis verwendet wird. AMAT P-5000 ist ein horizontaler Reaktor mit Doppelkammerkonfiguration. Es ist für fortgeschrittene Abscheideprozesse konzipiert, die eine genaue Kontrolle von Temperatur, Druck und Strömung erfordern. Das System weist eine obere Kammer für Prozesskammer-Lastschloß und eine untere Kammer für Lastschloß-Steuerung und Waferübertragung auf. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 verfügt über erweiterte Verwaltungsfunktionen, einschließlich Automatisierungsprozesse, hohe Temperaturfähigkeit und Niederdruckbetrieb und Präzisionsprozessparameter. Es kann mit Standard-Silizium-CVD-Prozessgasen arbeiten und hat eine optionale 300mm Kompatibilität. Das integrierte Gasmanagement steuert die Reaktionstemperatur und ist in der Lage, die Temperaturüberwachung und Gleichmäßigkeitskontrolle detailliert zu wiederholen. Die Einheit hat auch eine patentierte thermische Einschließung Schalendesign, die thermische Schichtung eliminiert. Das beheizte Gehäuse von AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 wurde entwickelt, um eine maximale Wiederholbarkeit der Prozessleistung zu gewährleisten, indem es eine unabhängige Temperatur- und Druckregelung des Prozessgases in jeder der beiden Kammern ermöglicht. Es hat auch eine Vordruckregelung sowie eine eingebaute Naß-/Trockenvakuummaschine. P 5000 verfügt über erweiterte Prozesssteuerungen wie automatisierte Rezeptsteuerung, programmierbare Prozessparameter und Netzwerkfunktionen zur Überwachung und Steuerung des Werkzeugstatus und der Prozessparameter. Es bietet auch Echtzeit-Überwachung und Steuerung von Load-Lock und Wafer-Transfer-Systeme. Die integrierte Gasmanagementanlage, die hohe Temperaturfähigkeit und der Niederdruckbetrieb sorgen für eine verbesserte Effizienz und Wiederholbarkeit. Schließlich bietet P-5000 Sicherheitsfunktionen wie Notabschaltung, akustische und visuelle Alarme und sichere Datenübertragung. Das Modell ist langlebig und zuverlässig und kann leicht gewartet werden, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für fortgeschrittene Abscheidungsprozesse wie Sputtern und CVD macht.
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