Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9313502 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9313502
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
CVD System, 6" Process: Delta TEOS (3) Chambers 1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist eine hochleistungsfähige Plasmaätzkammer mit hoher Ausbeute für den Einsatz in fortschrittlichen Lithographie- und Halbleiterprozessen. Diese Plasmaätzkammer dient zum präzisen Ätzen unterschiedlichster Materialien, darunter Metalle, Polymere, Dielektrika. Es kann bei bis zu 50 mBar und TEMPERATUREN VON BIS ZU 500 ° C betrieben werden und ermöglicht eine hochpräzise Ätzung, die eine präzise Steuerung der Ätzprofile ermöglicht. AMAT P-5000 hat Ätzprozesse revolutioniert und eine präzise Ätzung komplexer mikroelektronischer Komponenten mit schnelleren Erträgen ermöglicht. Der Hauptvorteil von APPLIED MATERIALS P 5000 liegt in der Kombination aus Hochleistungsquelle und präzisem Kammerdesign. Der Reaktor nutzt eine Hochleistungs-Allstations-Plasmaquelle mit einem breiten Spektrum an Frequenzmöglichkeiten. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätzrate und Form des Merkmals durch Steuerung sowohl der HF-Frequenz als auch des angelegten Magnetfeldes. Auch der Einsatz von fortschrittlicher Gasmischung und Druckregelung garantiert eine Ätztiefe von bis zu +/- 1%. P5000 verfügt auch über seine Fähigkeit, genaue Temperaturen innerhalb des Reaktors zu halten. Die Kammer wird mit einem geschlossenen Wassersystem gekühlt, was eine enge Temperaturregelung ermöglicht, die ein gleichmäßiges Ätzen über ein Zielgebiet gewährleistet. Dies dient auch zur Erhöhung der Sicherheit, zur Verhinderung von Korrosion und anderen reaktionsbedingten Beschädigungen des Zielmaterials. APPLIED MATERIALS P-5000 enthält eine Reihe integrierter Sensoren und Diagnosewerkzeuge, die eine schnelle und einfache Prozesskontrolle ermöglichen. Die Steuerung der Prozessparameter kann in Echtzeit überwacht und angepasst werden, so dass Anwender den Ätzprozess auf einfache Weise für eine optimale Leistung feinjustieren können. Mit modernster Technologie und robustem Design ist P 5000 ein fortschrittlicher Reaktor, der überlegene Ätzprozessleistung und Präzision ermöglicht. Von kleinen elektronischen Bauteilen bis hin zu größeren Geräten und Systemen bietet AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 eine zuverlässige, kostengünstige Lösung für ertragsstarkes Ätzen.
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