Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377266 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9377266
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1992
TEOS CVD Systems, 8" 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 reactor ist eine fortschrittliche Plasmabearbeitungsanlage, die für die Materialmodifizierung und Dünnschichtabscheidung verwendet wird. Das System verfügt über eine Prozesskammer mit zylindrischer Geometrie, die den Beobachtungsbereich maximiert und gleichzeitig eine effiziente Plasmabearbeitung gewährleistet. Zur Gewährleistung der Prozesssicherheit verfügt AMAT P-5000 über eine abgedichtete Kammer mit Vollmetallverschlussmechanismus und elastomeren Dichtungen. Die Einheit ist ideal für die Abscheidung von dünnen Filmen, mit der Fähigkeit, maßgeschneiderte strukturierte Strukturen aus Materialien wie Metallen, Dielektrika, Silizium und Organik zu schaffen. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 wird auch für die Verarbeitung auf Waferebene verwendet, was eine hohe Genauigkeit, Präzision und geringe Partikelverschmutzung ermöglicht. Die Maschine wird von mehreren Teilsystemen angetrieben, darunter: eine Stromversorgung zur Ansteuerung der Prozessgase, eine Hochspannungsversorgung für DC- und HF-Vorspannung und eine Massenstromregelung zur Steuerung von Prozessgasen. Ein Kühlwerkzeug hilft auch, die Temperatur und die Kammerumgebung der Anlage aufrechtzuerhalten. Um Genauigkeit und Leistung zu gewährleisten, verwendet P5000 ein fortschrittliches Auf-Wafer-Messtechnik-Modell. Mit dem modularen Aufbau können Wafer, Substrate und dünne Folien mit hoher Genauigkeit gemessen werden. Dieses System verfügt über erweiterte Phasenverschiebungsinterferometrie und verschiedene Probenscanner-Optionen. APPLIED MATERIALS P-5000 verfügt auch über mehrere Sicherheits- und Umweltmerkmale, wie Gasfiltration, Blitzüberwachung und Fernüberwachungssysteme. Die externe Kühlung trägt auch dazu bei, die Prozesssicherheit durch die Vermeidung von Verunreinigungen zu gewährleisten. Darüber hinaus unterstützt das Gerät mehrere Vakuumpumpen und Spülen Funktionen, einschließlich einer Turbo-Molekularpumpe und Kryopumpen. P-5000 Reaktor ist ein hochentwickelter und zuverlässiger Reaktor zur Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien für dünne Filme und andere Strukturen. Mit einem unvergleichlichen Maß an Präzision und Sicherheit ist diese Maschine die perfekte Wahl für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen.
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