Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377275 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Reaktor für intermetallische dielektrische Abscheidungsanwendungen. AMAT P-5000 verfügt über eine Vierkammer-Dampfabgabeeinrichtung, die die richtungsweisende Flexibilität und überlegene Langzeitleistung bietet, die für komplexe Prozesse mit hohem Seitenverhältnis erforderlich ist. APPLIED MATERIALS P 5000 zeigt mehrere fortgeschrittene Eigenschaften wie ein einheitlicher Prozess comolobulator, Viererkabelwiederschildhochvakuummehrraumturbopumpe/Ladegerät und ein Kontrolleur von Allen-Bradley PLC für die Datenerfassung und Prozesssteuerung. P5000 verwendet Hochleistungs-HF- und DC-Netzteile, um die Abscheidung auf einer breiten Palette von Wafern zu ermöglichen, einschließlich Dummy-, Polytest und folienbeschichteten Wafern. Das System beinhaltet auch eine programmierbare digitale Benutzeroberfläche, mit der Benutzer die gewünschte Filmdicke und den Betriebstemperaturbereich einstellen können. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 bietet auch mehrere programmierbare HF-Frequenzen, um den Prozess für verschiedene Integrationsschemata zu optimieren. P-5000 verfügt über eine Vierkammerdampffördereinheit, die aus einer Turbopumpe/Ladegerät, einem Inertgaseinspritzkrümmer, einem Infiltrationskrümmer, einem Reaktivgaseinspritzkrümmer und einer Reaktionskammer besteht. Diese Anordnung bietet die größte Kontrolle über Abscheideraten und Prozesskonsistenz. Die Infiltrations- und reaktiven Gaseinspritzkrümmer ermöglichen es AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 Metall und dielektrische Schichten mit gleichmäßiger Dicke und ausgezeichneter Abdeckung abzuscheiden. Die Reaktionskammer wird mit präzisionsgesteuerten Mehrzonen-Heizelementen beheizt, um gleichmäßige Temperaturen während des gesamten Abscheidungsprozesses zu gewährleisten. Zur weiteren Sicherstellung der Prozesssteuerung umfasst APPLIED MATERIALS P5000 eine Maschine mit integrierten optischen Pyrometern und Schutzabschirmung. Die optischen Pyrometer messen die Wärme innerhalb der Reaktionskammer, um sicherzustellen, dass die Prozesstemperaturen innerhalb der kritischen Spezifikationen bleiben. Die Abschirmung schützt das Substrat und die Prozessgase vor erzeugten elektrischen Entladungen im Werkzeug. P 5000 bietet eine komplette Palette von Prozesswerkzeugen für spezialisierte Substrate, Konstruktionsregeln und Prozessanforderungen. Die Anlage bietet zusätzliche Werkzeuge für die Handhabung von Substraten für spezielle Wafertypen sowie eine Vielzahl von Schutzschichten für Oxidationsschutz, Prozessgleichförmigkeit und Partikelkontrolle. Das Modell bietet auch Endpunkt-Steuerwerkzeuge, um die Reaktionstemperatur zu begrenzen, Verschmutzungen zu verhindern und die Reproduzierbarkeit zu verbessern. Zusammenfassend ist APPLIED MATERIALS P-5000 für intermetallische dielektrische Abscheidungsanwendungen konzipiert und verfügt über eine Vierkammer-Dampfabgabeeinrichtung und erweiterte Funktionen wie einen integrierten Prozesskomolobulator und eine programmierbare Benutzeroberfläche. Das System umfasst auch mehrere HF-Frequenzen und integrierte optische Pyrometer und Schutzabschirmung, um die Prozesskontrolle zu gewährleisten. Das Gerät bietet zusätzliche Prozesswerkzeuge für spezialisierte Substrate, Konstruktionsregeln und Prozessanforderungen.