Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9384772 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein CVD-Reaktor der nächsten Generation für die Hochleistungsabscheidung von Nanomaterialien. Dieser Reaktor ist in der Lage, bei Temperaturen bis 500 ° C Einzel-Wafer-Verarbeitung bei niedriger thermischer Masse mit gleichmäßiger Temperatur über der Waferoberfläche. AMAT P-5000 bietet ein 4-Zonen vertikales Reaktordesign mit unabhängiger thermischer Regelung und kühlen Gasassistenzvorkehrungen. Angewandte Materialien P 5000 verfügt über einen zweistufigen beheizten Duschkopf, der eine gleichmäßige Diffusion von Reaktantenmolekülen in der gesamten Abscheidekammer ermöglicht. Der Duschkopf besteht aus vertikal gestapelten Kühltaschen, die dafür sorgen, dass die Reaktantenmoleküle gleichmäßig über die Waferoberfläche verteilt sind. Darüber hinaus ist die thermische Steuerungsausrüstung von P5000 so konzipiert, dass sie hohe Temperaturgleichmäßigkeit und Stabilität für konsistente Prozessergebnisse erreicht. Seine programmierbare Steuerschnittstelle ermöglicht die Einstellung von Reaktantenzusammensetzung, Druck und Temperatureinstellungen. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 die schnelle Prozessfähigkeit des Reaktors wird durch den Einsatz eines schnellen Gaskontrollsystems ermöglicht. Diese Einheit ermöglicht eine präzise Einstellung des Gasdurchsatzes, was zu schnelleren Prozesszeiten mit höheren Durchsatzraten führt. Darüber hinaus ist P-5000 zur Gewährleistung der Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit mit einem Spülzyklus ausgestattet, der unerwünschte Kontaminationen aus der Abscheidekammer spült. Dies ermöglicht sowohl Kosteneinsparungen als auch Prozesssicherheit. In Bezug auf die Sicherheit ist APPLIED MATERIALS P-5000 darauf ausgelegt, die strengsten Standards zu erfüllen, einschließlich ASHRAE Klasse A/B, NFPA Klasse 1 und UL 945. Der Reaktor verfügt über eine explosionsgeschützte Entlüftungsmaschine und Gasdetektionssysteme zum Schutz von Personal und Ausrüstung vor potenziell gefährlichen Prozessgasen. AMAT P5000 Reaktor eignet sich für eine breite Palette von Materialien, darunter Graphen, lamellare Materialien und Kohlenstoff-Nanoröhren. Bei der Konfiguration mit dem ADM Doppelkühlwerkzeug bietet AMAT P 5000 einen noch größeren Temperaturbereich und Steuerung für kompliziertere Abscheideprozesse. Dies ermöglicht die Herstellung von hochreinen und leistungsorientierten Nanomaterialien. Insgesamt bietet APPLIED MATERIALS P5000 CVD-Reaktor eine zuverlässige, kostengünstige Lösung für die Hochleistungsabscheidung von Nanomaterialien. Durch die Kombination aus präziser Temperaturregelung und schnellen Reaktionszeiten kann P 5000 Herstellern helfen, die Anforderungen der härtesten Halbleiterherstellungsprozesse von heute zu erfüllen.
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