Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9389533 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9389533
WCVD System WxZ Metal.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein 200mm, Low-Cost, Rapid Thermal Processing (RTP) Reaktor. Dieses Gerät wurde speziell für den Einsatz in fortgeschrittenen Anwendungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt und ist für die Produktion von integrierten Schaltkreisen (IC) optimiert. Es verfügt über ein hochgenaues Prozessleitsystem mit Präzisionstemperaturregelung, um eine konsistente und wiederholbare Verarbeitung in allen Anwendungen zu gewährleisten. Das Gerät ist hochflexibel und kann für eine Vielzahl von Materialien verwendet werden, darunter Silizium, Germanium, Mischmetallverbindungen und viele andere. AMAT P-5000 Reaktor besteht aus einem strahlenden Gasofen, einer Temperiereinheit und einem Prozessregler. Der strahlungsgasbefeuerte Ofen 2 wird mit einer Kombination aus Wasserstoff, Stickstoff und Argon beheizt, wodurch die Temperatur des Ofens während der Waferbearbeitung konstant hoch bleibt. Die Temperiereinheit ist eine zweistufige Einheit, die eine Temperaturregelung im gesamten Ofenbereich ermöglicht und eine präzise Prozesssteuerung ermöglicht. Die Prozesssteuerung ist eine leistungsstarke benutzerfreundliche Schnittstelle, die es dem Benutzer ermöglicht, die Maschine zu programmieren, um eine Reihe von Anwendungen durchzuführen. Darüber hinaus verfügt APPLIED MATERIALS P 5000 über ein integriertes Datenlogging-Tool, mit dem Anwender die während jedes Prozesses gesammelten Daten dokumentieren und so die Prozessentwicklung und -anwendung unterstützen können. APPLIED MATERIALS P-5000 bietet eine Reihe von Prozessfähigkeiten, einschließlich Oxidations-, Nitridations-, Legierungs-, Dotierungs- und Diffusionsprozesse. Diese Verfahren können für die Geräteherstellung eingesetzt werden, einschließlich der Herstellung von Transistorquellen, dickenstarken Armaturen, Teststrukturen und mehr. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte Prozesssteuerung eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit, da der Benutzer die Umgebungsvariablen überwachen und modifizieren kann, um bei jedem Schritt eine gleichbleibende Qualität zu gewährleisten. P5000 RTP-Reaktor ist hochflexibel und ermöglicht die Herstellung verschiedener Materialien, darunter Silizium, Germanium und Mischmetallverbindungen. Durch die Kombination dieser Flexibilität mit einem robusten Prozesskontrollmodell können Materialien der UHP-Klasse präzise verarbeitet werden, was eine verbesserte Ausbeute und Leistung ermöglicht. Darüber hinaus kann der Ofen chargenweise oder kontinuierlich betrieben werden, sodass der Benutzer den Prozess auf seine Bedürfnisse abstimmen kann. Schließlich ist AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 mit umweltfreundlichen Eigenschaften konzipiert, so dass Benutzer Prozesse mit minimaler Umweltbelastung durchführen können.
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