Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9409079 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Hochleistungswerkzeug, das zum Anbau dünner Filme auf Halbleitersubstraten verwendet wird. Es handelt sich um einen Kurzbogenplasma-Niederdruckreaktor, der hochreine Abscheidung liefern kann. AMAT P-5000 ist ein zweistufiges System, bestehend aus einer Plasmaquelle und einer ultrahochen Vakuumbalgkammer. Zu Beginn des Abscheidungsversuchs werden die Glasproben in die Kammer eingelegt, die dann abgedichtet und auf einen Druck von 1 x 10-6 mBar oder darunter evakuiert wird. Anschließend wird die Quelle aktiviert und ein Plasma zwischen zwei Elektroden im Quellgefäß gebildet. Anschließend wird ein Strom der gewählten Abscheidungsvorstufe in das Plasma eingeführt und die durch die Plasmabombe freigesetzten energetischen Spezies-Molekülfragmente das Substrat und die Probenoberflächen freisetzen. Das in den applizierten Materialien P 5000 verwendete Plasma ist ein Argon/Wasserstoff-Gemisch, und die Substrattemperaturen können von bis zu 200 ° C bis zu 800 ° C reichen. Die Kammerkonstruktion erleichtert eine gleichmäßige Abscheidung in der Probe. Nach beendeter Filmabscheidung wird die Kammer entlüftet und die Proben entnommen. Die Applied Material P-5000 ist ideal für die Abscheidung von fortschrittlichen dielektrischen Materialien, geeignet für die Herstellung von Komponenten in der Halbleiter-integrierten Schaltungsindustrie. Zur Optimierung des Abscheidungsprofils, wie Temperatur und Gasgemisch, sowie der Abscheiderate und Filmdicke können mehrere Parameter variiert werden. Das Instrument ist präzise und wiederholbar und ermöglicht wiederholbare Ergebnisse über mehrere Abscheideläufe. Insgesamt ist AMAT P5000 Niederdruckreaktor ein zuverlässiges und flexibles Bauelement, das eine hochwertige Dünnschichtabscheidung auf Halbleitersubstraten mit einer hervorragenden Temperaturregelung ermöglicht. Seine hohe Gleichmäßigkeit und präzise Abscheidungsprofil bieten zuverlässige und konsistente Ergebnisse. Das Gerät ist ideal für Forschungsanwendungen sowie vielfältige Fertigungsanforderungen.
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