Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E Chamber frame #293662777 zu verkaufen

ID: 293662777
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E reactor ist ein hochmodernes Dünnschichtabscheidungswerkzeug, das für eine Vielzahl von Anwendungen wie Ätzen, Plasma, Abscheidung und mikroelektromechanische Systeme eingesetzt werden kann. Der AMAT P5000E Reaktor nutzt eine Dual-Ended-Konfiguration und ist vollautomatisiert. Diese Konstruktion bietet Flexibilität und ermöglicht es, eine Vielzahl von Prozessen mit mehreren Prozessoptionen durchzuführen. Die Hauptkomponenten des Reaktors sind die Stromversorgung, die Stromversorgungssteuerung, die Vakuumausrüstung, das Gasversorgungssystem, die Substratheizung und das Sputterziel. Die Stromversorgung ist in der Lage, entweder Wechselstrom oder Gleichstrom zu liefern und bietet eine effektive Palette von 0-1999V Vorspannung. Sie weist außerdem eine automatisierte Temperaturregeleinheit für den Substrathalter auf. Darüber hinaus umfasst es eine einstellbare Gas-Druck-Regeleinheit. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Die Vakuummaschine von E besteht aus einer Turbomolekularpumpe und einer Kryopumpe zur Aufrechterhaltung des für die Verarbeitung erforderlichen niedrigen Vakuums. Das Gasförderwerkzeug umfasst Massenstromregler, die so eingestellt sind, dass sie den Strom der zugeführten Gase einstellen, und es ist in der Lage, bis zu fünfzehn separate Gasströme zu fördern. Darüber hinaus verfügt es über einen optischen Emitter, der eine maximale optische Effizienz und Dünnschichtgleichförmigkeit gewährleistet. AMAT P5000 E Reaktor bietet eine Reihe von Substrat-Heizmöglichkeiten, einschließlich Widerstand, Hochfrequenz und thermische Verdampfung, so dass es für eine Reihe von Dünnschicht-Abscheidungsverfahren geeignet. Das Sputtertarget ist einstellbar, so dass sich die Schichtdicke der abgeschiedenen Schichten verändern kann. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 E Reaktor ein fortschrittliches Werkzeug mit vielen Funktionen, die es für verschiedene Dünnschichtabscheidungsverfahren geeignet machen. Seine hohe Effizienz und Flexibilität sowie automatisierte Prozessoptionen machen es zum idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen.
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