Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000W #9132649 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W ist ein Plasmaätzreaktor. Es verfügt über die Fähigkeit, erweiterte Gerätefunktionen in einer Vielzahl von Prozessmaterialien zu ätzen. AMAT P5000W ist ein vielseitiges Werkzeug mit einem inerten Lader/Entlader und bietet eine breite Palette an Prozessflexibilität. APPLIED MATERIALS P5000W wurde entwickelt, um ein kostengünstiges und dennoch langlebiges Werkzeug für die anspruchsvollsten Prozessanforderungen zu sein. Es ist mit einer hochohmigen, niederflurigen Bias-Konfiguration ausgestattet, die eine präzise Steuerung und wiederholbare Prozessleistung ermöglicht. Die Prozesskammer hat eine verstellbare Plattform zur Aufnahme von Substraten bis zu 8 Zoll Länge und Breite. Es hat auch zwei Gaskästen mit vier HF, drei Mikrowellen und zwanzig mesh-verfügbaren Gasen. P5000W unterstützt bis zu vier unabhängige Ätzbearbeitungswerkzeuge, sowohl Einzel- als auch Doppelwaferanwendungen, mit drei Faraday-Quellkäfigen für verbesserte Prozesskontrolle und Wärmeschutz. Die Prozesskammer auf AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W Reaktor ist außerdem mit mehreren Umwelt- und Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um die Qualitätsleistung zu gewährleisten. Dazu gehören ein Paar Balgdichtungen, druckangedeutete Schutzringe und Duschwände. Es verfügt über ein vollständiges System der Temperaturregelung mit einem Proportional-Integral-Derivat (PID) Regelkreis und grundlegenden Sicherheitsverriegelungen für die HF-Box und die Basis-Wafer. Es hat auch ein selbsttestendes, selbstdiagnostizierendes Interlock-System von vom Benutzer einstellbaren Werten, das Druck, Temperatur und Plasmaverbrauch überwacht. AMAT P5000W verfügt über eine mittelfrequente Stromversorgung, die eine hohe Präzision und Zuverlässigkeit der reaktiven Ionen ermöglicht. Die Stromversorgung ist in der Lage, bis zu 25MHz Mikrowellenfrequenz und bis zu 2000W HF-Leistung, mit einstellbaren Einstellungen für schnelle Ätzprozesse. Es ist auch mit einer Reihe von Sensoren ausgestattet, die Druck, Temperatur und Plasmaverbrauch für optimale Leistung überwachen. Mit seiner hohen Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit ist APPLIED MATERIALS P5000W eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Abscheideprozessen. Dieses Tool wurde entwickelt, um die Anforderungen sowohl kleiner als auch großer Produktionsläufe mit einer Kapazität von bis zu acht Waferprozessläufen zu erfüllen. Es ist einfach zu warten und bietet effiziente Wiederholbarkeit und Genauigkeit für alle Arten von Ätz- und Abscheidungsprozessen.