Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5200 #9231616 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5200 ist ein paralleler Plattenplasmareaktor zur Verarbeitung von fortschrittlichen Materialsubstraten. Das Gerät ist für den Hochdurchsatz in einer eng integrierten Umgebung konzipiert, so dass dünne Filme in einer Vielzahl von Konfigurationen abgelegt werden können. AMAT P5200 verfügt über eine Prozesskammer, die für die Aufnahme von bis zu 10 Substraten pro Plasma-Charge ausgelegt ist und die die Abscheidung einheitlicher dünner Filme unabhängig von der Applikations- oder Substrattopologie ermöglicht. Die Kammer besteht aus zwei flachen parallel vergoldeten Edelstahlplatten mit einem niederohmigen Profil und einer Abgasöffnung zur Evakuierung von eventuell entstehenden Dämpfen. Die Frontplatte ist temperaturgeregelt und weist verschließbare Kerböffnungen auf, die zur Einspritzung des Prozesses und zur Verarbeitung von Nebenproduktgasen verwendet werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5200 verfügt über eine leistungsstarke Substrat-BIAS-Einheit (SBU) zur Erzeugung einer Plasmahülle zwischen den parallelen Platten mit einer Mischung aus Argon und Ozongasen. Die SBU kann je nach Verarbeitungsbedarf und Anforderungen entweder ein planares oder feldeinheitliches Plasma erzeugen. Diese Vorspannung ermöglicht auch bei komplexen 3D-Topologien höhere Abscheideraten und eine höhere Gleichmäßigkeit über die Oberflächen des Substrats. P5200 ist mit einem großflächigen Process Monitoring System (PMS) konfiguriert, das eine Echtzeitüberwachung der Prozessparameter einschließlich der Vorspannung, Substrattemperatur, Partikeldichten usw. ermöglicht. Das PMS hilft auch bei der Rückkopplung und der Anpassung des Prozesses im weiteren Verlauf und kann wertvolle Daten für die Prozessoptimierung liefern. Das Gerät ist auch mit einer branchenführenden EOS-Analyse-Software ausgestattet, die die Möglichkeit bietet, strenge Simulationen des Abscheideprozesses durchzuführen, um die besten Bedingungen für das Erreichen eines gewünschten Ergebnisses zu ermitteln. Dieses Softwarepaket beinhaltet die Möglichkeit, verschiedene Tiefen, Abdeckung, Dicke und andere kritische Parameter einzeln zu modellieren und anzupassen. AMAT/APPLIED MATERIALS P5200 bietet einen äußerst zuverlässigen und reproduzierbaren Prozess, der konsistente Ergebnisse gewährleistet und die Produktionseffizienz verbessert. Die Maschine ist benutzerfreundlich, ermöglicht schnelle Start-ups und wird durch weitere Upgrades kontinuierlich verbessert.