Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Preclean chambers for Endura CL #293633114 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Preclean chamber for Endura CL ist ein Reaktor, der für den Einsatz in CVD (Chemical Vapor Deposition) -Prozessen entwickelt wurde. Diese Kammer wird bei der Halbleiterherstellung eingesetzt, um einen qualitativ hochwertigen Reinraum bereitzustellen, in dem die Abscheidung von Dünnfilmbeschichtungen in einem lokalisierten Bereich durchgeführt werden kann. Die Vormagerkammer verwendet plasmaverbesserte Reinigungstechnologie, um eine ultra-saubere Substratoberfläche zu erreichen, die dann bereit ist, empfindliche, schützende Beschichtungen aufzunehmen. Dieses Modell des Reaktors verfügt über eine horizontale einzelne Wafer-Ladeblockkammer, die mit einem Edelstahl-Kammerkörper und einer abnehmbaren Edelstahlabdeckung mit einer Luftschlossdichtung und einer hinteren Entlüftung aufgebaut ist. Es hat eine Innenkapazität von bis zu 100 Litern und einen Betriebstemperaturbereich von 0 bis 150 ° C. Darüber hinaus verfügt die Kammer über ein integriertes zylindrisches Prozesssteuerungsmodul (PCM), das mit einem Bedienfeld auf der Oberseite der Kammer für einen einfachen Zugriff auf digitale Ein- und Ausgänge sowie analoge Steuerungen verbunden ist. Das PCM der Kammer ist mit mehreren Komponenten ausgestattet, die für eine Hochleistungsvorverarbeitung ausgelegt sind. Es weist eine optische Emissionsüberwachung, eine Prozesssteuerung, ein Prozessgasmodul und ein Vakuumsystem auf. Alle diese Komponenten sind so konzipiert, dass sie zusammenarbeiten, um eine kontrollierte Atmosphäre in der Kammer zu schaffen, die für die Vorverarbeitung förderlich ist. Die Vormauerkammer wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit konzipiert. Es ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen wie Drucksensoren, Notabschaltern und einer Alarmanlage ausgestattet. Darüber hinaus ist es auch so konzipiert, dass es einfach zu warten und zu aktualisieren ist. Es hat ein robustes Design, das resistent gegen raue Chemikalien ist und leicht gereinigt und gewartet werden kann. Abschließend ist die AMAT Preclean-Kammer für Endura CL ein zuverlässiger und robuster Reaktor, der für den Einsatz in CVD-Prozessen ausgelegt ist. Es wurde entwickelt, um einen hochwertigen sauberen Bereich zu schaffen, in dem Dünnfilmbeschichtungen aufgebracht werden können. Die Kammer ist mit mehreren Komponenten ausgestattet, die für eine Hochleistungsvorverarbeitung ausgelegt sind, sowie mit mehreren Sicherheitsmerkmalen, um einen sicheren Betrieb des Reaktors zu gewährleisten. Diese Kammer ist einfach zu warten und zu aktualisieren und ist beständig gegen raue Chemikalien für einen zuverlässigen Service über einen langen Zeitraum.