Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Process kit for Endura 5500 #293656254 zu verkaufen
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ID: 293656254
Part number / Description
0020-26312 / Shield upper, 8” Durasource TTN SST
0020-26288 / Shield lower 101, 8” Durasource TTN SST
0020-24914 / Cover ring SST, 8", 101 Coverage
0020-28937 / Cover, 8" Pedestal advanced 101
0020-27455 / Disk, 8", Advanced 101 Shutter
0020-08674 / Shield lower, ARC Spray SST SIP
0020-08673 / Shield inner, Al ARC Spray SST SIP
0020-08677 / Shield upper, Ground Al ARC Spray SST SIP
0020-08675 / Cover ring, 8", Al ARC Spray SST SIP
0040-01549 / Cover, 8", Pedestal B101 HTR S-IMP
0200-00998 / Pedestal ring 8", B101 AI ARC Spray ceramic
0240-26518 / Rest buttons ceramic B101
0021-22586 / Shutter disk, 8", B101
0020-23041 / Clamp, Shield, 8” Wafer
0020-21665 / Shield low, Knee AL/TI Process SST, 8” Wafer, 46" TRGT
0020-27702 / Clamp ring, 8”, SNNF, TI, 3.404 MM, 6 Pads, 10465A
0200-00221 / Insulator pinless, 8" SNNE, Preclean I
0020-27123 / Pedestal, PC II 8", SNNF
0020-26588 / Shield 8" PC II at C and D
0020-26967 / PC II Gas trench cover
0040-21178 / Preclean II.
AMAT Process Kit für den Endura 5500 Reaktor ist ein unverzichtbares Zubehör für eine Endura 5500 Ausrüstung. Es enthält wesentliche Werkzeuge und Komponenten für die Durchführung verschiedener Schritte in einem Photoresist oder Ätzprozess, wie Strippen, Reinigung, Abscheidung und Messtechnik. Das Prozesskit umfasst Gegenstände wie einen Handhabungsroboter, ein evakuierbares Modul, ein Gasfördersystem, eine Anzahl von Kondensatoren und eine In-situ-Messtechnik-Einheit. Der Handlingroboter kann in der Nähe des Endura 5500 Reaktors positioniert werden und dient dazu, Wafer und Kassetten in die Reaktorkammer hinein und aus dieser heraus zu bewegen. Das evakuierbare Modul ist mit einer evakuierbaren Kammer für Probenevakuierungen und andere Operationen und einem massiven Turbomolekularrotor ausgestattet, um schnelle Spülgeschwindigkeiten zu erreichen. Die Gasfördermaschine weist eine Reihe präziser Regler und Ventile auf, um dem Reaktorraum den richtigen Gasdruck zuzuführen. Die Kondensatoren erleichtern die direkte elektrische Verbindung zum Endura 5500 Reaktor und das Messtechnik-Tool ermöglicht automatisierte Messungen der Foliendicke während des Produktionsprozesses. Die mitgelieferten Komponenten sind so konzipiert, dass Benutzer mehrere Folienstapel implementieren können, was die für die Entwicklung eines Endura 5500-Prozesses erforderliche Entwicklungszeit verkürzt. Das Prozess-Kit ermöglicht es Benutzern, ihre Rezepte und Zielzyklen schnell zu optimieren, sowie Datenprotokollierung und Bewertung für jedes Rezept durchzuführen. Zum Prozesskit gehört auch ein Reinraum, der den Einbau der Endura 5500 Komponenten ohne Verschmutzung ermöglicht. Der Reinraum umfasst ein Netz von Stationen mit thermischen, elektrischen und Gasleitungen und zwei Luftschlössern mit speziellen Filtern und Gebläsen. Zum Asset gehören auch ein Erdungsmodell und eine ionenneutralisierende Ausrüstung, die die Aufladung von bearbeiteten Wafern minimiert. Dieses Prozesskit ist eine kritische Komponente für ein Endura 5500 System, da es sicherstellt, dass der Prozess wiederholbar und zuverlässig ist. Es wurde entwickelt, um eine sichere und effiziente Arbeitsumgebung zu schaffen, die eine Vielzahl von komplexen Prozessen bewältigen kann.
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