Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT #9219513 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT ist ein Reaktor für Halbleiterherstellungsprozesse, speziell zur Dotierung von Siliziumwafern mit Borgas. Der Reaktor soll eine komplette Borimplantatlösung für die Herstellung von CMOS (CMOS) -Chips liefern. AMAT PRODUCER EXT ist die neueste Version der PRODUCER-Serie und wurde entwickelt, um eine kostengünstigere Alternative zu den einzelnen Waferreaktorsystemen zu bieten. ANWENDUNGSMATERIALIEN HERSTELLER EXT Reaktor ist ein einzelner Wafer, vertikale Diffusionsöfen optimiert für die Herstellung von Bordotierungsprofilen. Es wurde entwickelt, um Dotierstoffkonzentrationen zu erzeugen, die bis zu 10x höher als die vorherigen einzelnen Wafersysteme sind, und um unterschiedliche Implantatwinkel zu ermöglichen, um ultrafeine Linienmerkmale zu erzeugen. Der Reaktor ist zudem sehr zuverlässig und energieeffizient ausgelegt. PRODUCER EXT nutzt eine fortschrittliche Plasmaquelle, um Bor-Dotierungsgas zu erzeugen. Dieses Plasma erzeugt mit kapazitiv gekoppelter HF-Energie das Borgas, das dann in einem Strahlleitungsofen dem Wafer zugeführt wird. Dies ermöglicht eine präzise Dosierung des Bors in gewünschten Tiefen auf dem Wafer mit weniger Abfall und höherer Produktivität. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT enthält einen hochauflösenden Substrat Viewer, mit dem Benutzer das Implantat-Spotprofil überwachen und die Platzierungsgenauigkeit überprüfen können. Der Anwender kann die Tiefe des Implantats mit der integrierten Prozesssteuerungssoftware steuern. Dadurch wird sichergestellt, daß auf jedem Wafer das gewünschte Dotierstoffkonzentrationsprofil erreicht wird. AMAT PRODUCER EXT ist mit modularen Komponenten ausgelegt, die einfach zu installieren und zu warten sind. Dies macht es einfach, die Produktion zu skalieren und das System für verschiedene Implantatprofile neu zu konfigurieren. Darüber hinaus ermöglicht die geringe Größe von APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT die Installation in einer Vielzahl von Anlagen, von Labors bis hin zu Serienfabriken. Der Produzent EXT Reaktor ist eine ideale Lösung für Halbleiterherstellungsprozesse und bietet eine zuverlässige und kostengünstige Lösung zur Erzeugung von Borimplantatprofilen. Es wurde entwickelt, um hochpräzise Dosierfähigkeiten und hohe Erträge bei minimalem Abfall und ausgezeichneter Energieeffizienz zu bieten. Es kann in einer Vielzahl von Anlagentypen und -größen installiert werden und ist sehr konfigurierbar.