Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA #9305827 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA ist ein Hochdurchsatz-Prozeßreaktor. Es ist speziell für die Herstellung von Halbleiterscheiben konzipiert, da es in der Lage ist, eine schnelle thermische Glühung (RTA) und Oxidation aufzubringen, während seine Temperaturregelung und Verarbeitung von Niederprofilscheiben zuverlässig bleibt. AMAT PRODUCER GT ETERNA Reaktor ist ein zuverlässiges und eigensicheres Werkzeug, das sich für Anwendungen wie schnelles thermisches Glühen, Oxidation, Diffusion und dielektrische Abscheidung eignet. Es bietet fortschrittliche Prozessfähigkeiten wie dielektrische Abscheidung mit optimierten Temperaturprofilen, schnelles thermisches Glühen von Verbundhalbleitern und Abscheidung von nieder- und hochohmigen Materialien. Der Reaktor besteht aus einem mit Polysilizium gekippten Prozessrohr, in dem die Hochgeschwindigkeitsoxidation von Wafern durchgeführt wird, und einer Produktionskammer, in der das Prozessrohr und andere Komponenten untergebracht sind. Die Prozesskammer besteht aus drei Schaltungen: dem Gatekreis, dem Hochdruckoxidationskreis und dem Annealkreis. Die Gate-Schaltung ist für das thermische Management der Polysilizium-Spitze-Prozessröhre verantwortlich, während die Hochdruckoxidationsschaltung eine hohe Steuerbarkeit der Oxidationsreaktion ermöglicht und der Glühkreislauf eine effiziente thermische Aktivierung der Folie ermöglicht. Der Reaktor enthält auch eine Reihe integrierter Sicherheitsmaßnahmen wie Flow Loop Safety, Overvoltage Protection und CTE (Thermal Comprehensive Protection), um das Sicherheitsniveau während des Betriebs weiter zu erhöhen. Flow Loop Safety überwacht den Druck innerhalb des Reaktors und stoppt den Betrieb, wenn er eine bestimmte eingestellte Schwelle überschreitet. Überspannungsschutz überwacht und schaltet das System ab, wenn übermäßige Spannungen erkannt werden. CTE (Thermal Comprehensive Protection) ist eine Funktion, die das System überwacht und abschaltet, wenn die Temperaturen in bestimmten kritischen Teilen des Reaktors akzeptable Bereiche überschreiten. HERSTELLER VON ANGEWANDTEN MATERIALIEN GT ETERNA ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug, das in allen Halbleiterfabriken weltweit eingesetzt wird. Diese Eigenschaften in Kombination mit einer verbesserten Prozesskontrolle bieten Kunden eine zuverlässige Produktion von Wafern mit verbesserter Ausbeute, was zu höheren Erträgen für ihre Produktionsabläufe führt. Mit seiner hohen Durchsatzfähigkeit ist der PRODUCER GT ETERNA Reaktor in der Lage, die Anforderungen der Halbleiterproduktion ohne Qualitätseinbußen zu erfüllen.