Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9019704 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9019704
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Dual SACVD chamber, 12"
P/N; 0242-14523
Process: BPSG
Iso Valve 0060-21442 rev b / 0060-76188 rev b
Throttle Valve 0010-14682
Foreline straight 0050-50173
Foreline elbow 0040-40886
Gas Manifold 0021-30143
LFM/Injector Manifold 3030-08008
Astron 0920-00057
Heater Transformer 211-0111-120 5 KVA
Heater Transformer 211-0101-120 5KVA
Heater Lift 0010-01418
Heater Driver 0090-00569
Pneumatic Switch Bank
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Filter 0090-01267,001
Specifications:
LFMs and injectors: STEC
TEOS, TEB, TEPO liquid delivery injection valves / lines
HFG: 0920-00107 AE 3000 RFG, AE PN: 3156114-003
LFG: ENI quanta-10D-01M1
Heat Controller: Johnson Electric Powerformer – Outdoor type 3R U/L
Gas box configuration:
Line 1: O3
Line 2: O2
Line 3: N2
Line 4: NF3
Line 5: N2
Line 6: Ar
Line 7: Empty
Line 8: N2
Line 9: He
Line 10: N2
Includes AMAT part numbers:
0040-03005
0040-61823
0040-51824
0040-03439
0040-01618
0021-06499
0040-04048
Missing parts:
Gas box enclosure
Gas box rails
Chamber support rails
Low frequency generator
High frequency generators
MFA / filter
Watlow heater contoller
Vapor line - heat trace
Foreline heater controller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III ist ein sehr vielseitiger Reaktor, der bei extremen Temperaturen und Drücken arbeiten kann und somit ideal für immer anspruchsvollere Forschung ist. Der Reaktor nutzt eine flexible Quarzdichtung, die einen konstanten und zuverlässigen Betrieb gewährleistet. Es verfügt über ein integriertes Vakuumsystem, das es ermöglicht, sich schnell vom Ultrahochvakuum auf ein Hochvakuum einzustellen und gleichzeitig eine hohe Vakuumintegrität zu erhalten. Der Advanced Materials AMAT Producer III verfügt über eine beeindruckende Auswahl an Features, die eine Vielzahl innovativer Experimente ermöglichen. Der Reaktor kann präzise Temperaturen von -90 ° C bis 1150 ° C erzeugen und verwendet ein einzigartiges Gasmischsystem, um komplexe Reaktionsumgebungen zu schaffen. Darüber hinaus ermöglicht ein integrierter Massendurchflussregler genaue, wiederholbare Durchflussraten. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller III kann für eine Reihe von Experimenten ausgestattet werden, einschließlich Synthese, Ätzen, Kristallisation, Sensibilisierung, Bestrahlung oder Abscheidung. Mit einer Reaktionskammergröße von bis zu über 40 Litern kann der Reaktor eine schnelle Niedertemperaturreinigung, eine schnelle Synthese und unter Zugabe einer Diffusionspumpe ein erhöhtes Vakuum erreichen. Produzent III integriert sich auch in andere Werkzeuge, um mehrstufige Experimente zu ermöglichen. Externe Gasleitungen können an den Splitter für mehrere Gassteuerungssysteme angeschlossen werden, und Probenhalter können für mehrere Probenläufe hinzugefügt werden. Der Reaktor wird durch die Möglichkeit, ein optisches Pyrometer zur präzisen Temperaturregelung und Rückkopplung hinzuzufügen, weiter verbessert. Die robuste Konstruktion des Herstellers umfasst ein integriertes Sicherheitssystem und thermische Begrenzer, die einen zuverlässigen Betrieb unter normalen und extremen Bedingungen gewährleisten. Und mit zusätzlichen Funktionen wie einem Mehrpunkt-Temperaturregler und einem abnehmbaren Fenster bietet der Reaktor maximale Vielseitigkeit für den Forscher. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III ein fortschrittlicher Reaktor, der eine zuverlässige Niedertemperatur-Arbeitsumgebung bietet und Wissenschaftlern die Freiheit gibt, eine breite Palette von Prozessen zu erforschen. Sein breites Spektrum an Merkmalen und die Fähigkeit, auf ein bestimmtes Experiment zugeschnitten zu sein, machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für moderne Forscher.
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