Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9070340 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III
Verkauft
ID: 9070340
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
BPSG System, 12" (3) Chambers Shrink Cassette 2002 vintage.
Ein AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III Reaktor ist eine Art von CVD-System (Chemical Vapor Deposition), das für den Einsatz in Halbleiter- und anderen Bauteilen, der Herstellung, entwickelt wurde. Es ist ideal für die Herstellung von Dünnschichtabscheidungsschichten auf einem Substrat mit verschiedenen organischen, metallischen und keramischen Vorstufen. AMAT Producer III ist mit einer vertikalen Aufzugsanfälligkeitsplattform konzipiert, die mehrere Prozesskonfigurationen und Substrate bis 200 mm ermöglicht. Die Substratheizung wird mit einer leistungsstarken Schnellstartheizung erreicht. Der Reaktor wird mit einem Basisdruck von 1x10-6 Torr konstruiert und ist in der Lage, Hochdruck bis zu 5 Torr für eine optimale Wachstumsrate zu erreichen. Eine eingebaute, digitale Mikrowellenenergiequelle ist ebenfalls im Lieferumfang enthalten. Diese Dual-Frequenz-Quelle kann flexible Leistungseinstellungen erzeugen, die eine präzise Dotierungssteuerung, eine größere Flächenabdeckung und eine verbesserte Kristallqualität im resultierenden Film ermöglichen. Die digitale Quelle soll die Anfälligkeit von Einspeiseverbindungen reduzieren und ein hocheffizientes Filmwachstum ermöglichen. Um eine gleichmäßige Abscheiderate und Filmdicke zu gewährleisten, ist der APPLIED MATERIALS Producer III auch mit einer Dual-Frequenz-Impulsquelle ausgestattet, die ein 45-MHz-Signal und eine 270-kHz-Plasmaquelle für optimale Homogenität liefern kann. In Bezug auf die Prozessautomatisierung enthält Producer III ein Event Control System (ECS) mit dedizierter Software, mit der Benutzer eine automatisierte Prozessfolge entwerfen und integrieren können. Das ECS überwacht Temperaturen, Drücke und Isolationsstufen und bietet Kontroll- und Protokollierungsfunktionen, einschließlich der Rezept-Ausführung, der schrittweisen Prozesskontrolle und der Rezeptspeicherung. AMAT/APPLIED MATERIALS Hersteller III enthält auch einen Kippreaktor zum sicheren Be- und Entladen von Wafern. Die Almorail CAE in der Reaktorplattform sorgt für einen komfortablen Probentransfer und ist anpassbar an unterschiedliche Substratgrößen. Um ein Höchstmaß an Sicherheit zu gewährleisten, ist der AMAT-Hersteller III auch mit einer Vielzahl von systeminternen Sicherheitsvorkehrungen ausgestattet. Dazu gehören Druckmess-, Abgas- und Drosselventile, Motorantriebssysteme sowie Stickstoff- und Argonspülsysteme. Diese Systeme sind darauf ausgelegt, optimale Arbeitsbedingungen zu erhalten und sowohl die Bediener als auch die Umgebung zu schützen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor