Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9092388 zu verkaufen

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ID: 9092388
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
BPSG System, 8" Wafer shape: SNNF Mainframe: Producer Split SMIF: manual Ozone generator: Astex System controller UPS option: no (2) Chambers: BPSG Heater: ceramic Clean method: remote plasma Manometer: Dual 20/100 Torr Chamber wall: 11.484 o-ring Gas Delivery MFC type: Unit 8160 Valves: Fujikin 5 Ra Max Filters: Pall Transducer: MKS w/o display Regulators: Parker O2 20L UNIT NF3 3L UNIT Ar 5L UNIT He 10L UNIT N2 20L UNIT TEOS STEC TEPO STEC TEB STEC Electrical requirements: 200/208V, 50/60Hz, 240A 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III ist ein Hochleistungs-, Hochdurchsatz-Mehrprozessreaktor, der für eine Reihe von Folien- und Geräteanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über ein modernes, patentiertes Drei-Zonen-Design, das eine genaue Prozesseinstellung und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit bei der Herstellung ermöglicht. Der Reaktor verfügt über einen automatisierten, zweiachsigen Positionierer, der eine verbesserte Prozesssteuerung und Gleichmäßigkeit im gesamten interessierenden Bereich ermöglicht. Darüber hinaus bieten die selbstjustierende Stützwelle und die einstellbaren Neigungswinkel eine weitere Flexibilität für die Bearbeitung. Die einzelnen Gas- und Prozessregelventile bieten eine präzise Einstellung und einen unabhängigen Betrieb, während das integrierte Gerätetemperaturmanagement die Prozessstabilität weiter erhöht. Darüber hinaus bietet das hochmoderne Steuerungssystem die Vielseitigkeit und Benutzerfreundlichkeit des Tools. Dieser fortgeschrittene Reaktor zeigt auch eine neuartige Elektrode zur Vorrichtung, die Anordnungseinheit schließt, die maximale Stabilität und Genauigkeit im Reaktionsraum während der Herstellung sichert. Zusätzlich ermöglicht die Regel- und Temperaturregelungsmaschine dem Reaktor, die gewünschten Temperaturen schnell und präzise zu erreichen. Das integrierte Diagnose- und Wartungstool, das Echtzeitfähigkeit bietet, sorgt zudem für maximale Prozesseffizienz bei minimalen Ausfallzeiten. Die Reinraumkonstruktion gewährleistet einen verschmutzungsfreien Produktionsprozess, wodurch der Reaktor für eine Reihe von Anwendungen in der Halbleiter-, Dünnschicht-, Optoelektronik-, chemisch-mechanischen und Vakuumverarbeitung geeignet ist. Es unterstützt auch mehrere Anwendungen, die von hoher Gleichmäßigkeit und hoher Durchsatzleistung profitieren. Dazu gehören Metallabscheidung, Ätzen, Oxidation, Siliziumnitridation, Siliziumoxynitridation, BPSG-Abscheidung, SiO2-Abscheidung und -Passivierung, verdampfende Dünnschichtverarbeitung, Nitridabscheidung, thermische Oxidation und Molekularstrahlepitaxie (MBE). Zusammenfassend ist AMAT Producer III ein zuverlässiger und vielseitiger Reaktor, der in der Lage ist, eine genaue und durchsatzstarke Fertigung für eine Vielzahl von Dünnschicht-, Optoelektronik- und Prozessanwendungen bereitzustellen. Es verfügt über ein fortschrittliches Drei-Zonen-Design, Zwei-Achsen-Positionierer, einstellbare Neigungswinkel, integriertes Temperaturmanagement und eine geschlossene Steuerung, so dass es eine ideale Wahl für Fertigungsprofis ist.
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