Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9209863 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III ist ein Hochleistungs-PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) -Werkzeug, das für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es ist in der Lage, dünne Filme aus Dielektrikum, Metall, Nitrid und anderen Materialien auf Halbleitersubstraten abzuscheiden. AMAT Producer III verfügt über ein Dualkammer-Design, das hocheffiziente Mehrschichtabscheidungsprozesse ermöglicht. Die erste Kammer enthält die Substratverriegelung und die sind Kammern. Die zweite Kammer beherbergt die Plasmakammer und ihre benutzerdefinierten Magnetronquellen und ermöglicht eine präzise Steuerung der Schichtdicke und Gleichmäßigkeit. Das System arbeitet nach einem programmierbaren Logikregler für hohe Ausbeute und gleichmäßige Abscheidung. Es verfügt über hohe Produktionsraten und kann für bis zu fünf verschiedene Substrate konfiguriert werden. Die Einheit nutzt zwei Elektronenzyklotronresonanz (ECR) oder HF-Plasmaquellen, um eine höhere Abscheidungsrate und Gleichmäßigkeit zu erhalten. Die HF-Quellen ermöglichen die Anpassung einer Vielzahl von Prozessparametern, einschließlich; HF-Frequenz, HF-Leistung, Vorspannung und Druck. Darüber hinaus ermöglichen die ECR-Plasmaquellen extrem hohe Abscheidungsraten bei gleichmäßiger und glatter Filmstruktur. Die Maschine bietet auch einen Echtzeitregler mit Überwachung von Kammerdrücken, Temperaturen und Spannungsregelung. Es ermöglicht auch eine präzise Steuerung der Reaktionsgaskonzentration und der Strömungsgeschwindigkeiten. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller III ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen für einen zuverlässigen Betrieb konzipiert, einschließlich eines 24/7-Überwachungswerkzeugs, das das Werkzeug bei einer möglichen Gefahr abschaltet. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine programmierbare Verriegelung, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten, während die Temperatur- und Drucksensoren die Prozesskontrolle aufrechterhalten. Dank des hocheffizienten Filtrationsmodells wird die Kontaminationskontrolle extrem gering gehalten. Darüber hinaus kann die Ausrüstung fernüberwacht werden, sodass Benutzer schnell und bequem Anpassungen vornehmen können. Insgesamt ist Produzent III ein hocheffizientes und zuverlässiges PECVD-System, das mit zahlreichen Funktionen und Sicherheitssystemen ausgestattet ist. Dank der Dualkammer-Konstruktion und der HF- und ECR-Plasmaquellensteuerung ist es in der Lage, hochgleichmäßige und glatte Schichten aus verschiedenen Materialien auf Substraten abzuscheiden. Es ist eine gute Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, aufgrund seiner hohen Abscheidungsrate und ausgezeichneten Ausbeute.