Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9240095 zu verkaufen
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ID: 9240095
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
CVD System, 8"
(3) Twin chambers
Platform: Producer S
Wafer shape: SNNF
Load lock:
Cassette type, 8"
Fast vent option
Mainframe:
Buffer robot type: VHP
FI Robot type: Manual
Buffer robot blade
Chamber A: Producer APF
Chamber B: Producer DARC
Chamber C: Producer SAUSG
(2) Heater exchangers: Steelhead 0
Chiller MX-500
O3 Rack
Front end type: Manual
Front end robot: PRI BROOKS ABM407
Buffer robot: VHP
Transfer pump: IPX Pump
Chamber slit valve / LL Door: VAT
L/L Gauge
Hard disk
Floppy disk: 1.44 M
Chamber A: (APF)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 100 Torr
RF Power:
RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000-2 V
Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match
Gas panel: C3H6, Ar, He, O2
Vacuum system:
Throttle valve: MKS 253B-24627
ISO Valve: MKS
Chamber B: (DARC)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 100 Torr / MKS 10 Torr
RF Power:
RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000 - 2 V
Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match
RPS Type: MKS ASTEX
Gas panel: CO2, N2O, He, NF3, SIH4
Vacuum system:
Throttle valve: MKS 253B-24627
ISO Valve: MKS
Chamber C: (SAUSG)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 1000 Torr
RF Power:
No RF generator
No match
RPS Type: (MKS ASTEX)
Gas panel: O2, NF3, Ar, He, O3, TEOS
Vacuum system:
Throttle valve
ISO Valve
Light tower: RYGB
Power: 208 V, 50/60 Hz
Full load current: 240 A
CE Marked
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III Reactor ist eine Fertigungsmaschine, die für die Herstellung von Substraten bei hohen Temperaturen ausgelegt ist. Es ist ein fortschrittlicher Reaktor, der für die Verarbeitung von Halbleitern, harten Materialien und tribologischen Materialien bestimmt ist. Der Reaktor wird hauptsächlich für die Halbleiterforschung, Produktion und Automatisierungstests verwendet. Der Reaktor besteht aus drei Kammern, die bei getrennten Temperaturen arbeiten: Die erste Kammer ist bis zu 2000 ° C, die zweite Kammer bis zu 1000 ° C und die dritte Kammer bis zu 500 ° C ausgelegt. Der Reaktor ist auch mit einem Absperrventil ausgestattet, das den Druck in der Kammer einstellt. Der Producers III Reactor ist mit einer fortschrittlichen Kühlausrüstung ausgestattet, die alle drei Kammern gleichzeitig kühlt. Dieses Kühlsystem ist so konzipiert, dass es die Zeit zum Anfahren des Reaktors reduziert und ein thermisches Auslaufen verhindert. Der Producers III Reactor verfügt über erweiterte Sicherheitsfunktionen wie eine ausfallsichere Einheit, mehrere Sicherheitsverriegelungen und eine Notabschaltung. Der Reaktor weist ferner eine elektrostatische Aufnahmemaschine auf, die den Reaktor von der Außenumgebung isoliert. Der Reaktor ist auch so ausgelegt, dass er Materialien effizient verarbeitet, indem er das proprietäre Abscheidungswerkzeug ID AMAT verwendet, das einen gleichmäßigen, gleichmäßigen Materialfilm auf das Substrat sprüht. Diese Abscheidung ist in der Lage, die gewünschten Temperaturen schnell und effizient zu erreichen. Dieser hochentwickelte Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Verfahren wie Nitridierung, Oxidation, schnelle thermische Verarbeitung und Abscheidung durchzuführen. AMAT Producer III Reactor ist ein vielseitiges und effizientes Werkzeug, das in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Substraten eingesetzt wird.
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