Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9240095 zu verkaufen

ID: 9240095
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
CVD System, 8" (3) Twin chambers Platform: Producer S Wafer shape: SNNF Load lock: Cassette type, 8" Fast vent option Mainframe: Buffer robot type: VHP FI Robot type: Manual Buffer robot blade Chamber A: Producer APF Chamber B: Producer DARC Chamber C: Producer SAUSG (2) Heater exchangers: Steelhead 0 Chiller MX-500 O3 Rack Front end type: Manual Front end robot: PRI BROOKS ABM407 Buffer robot: VHP Transfer pump: IPX Pump Chamber slit valve / LL Door: VAT L/L Gauge Hard disk Floppy disk: 1.44 M Chamber A: (APF) Chamber parts: Gas feedthrough assy Gas box Face plate Heater / TC: OEM Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 100 Torr RF Power: RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000-2 V Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match Gas panel: C3H6, Ar, He, O2 Vacuum system: Throttle valve: MKS 253B-24627 ISO Valve: MKS Chamber B: (DARC) Chamber parts: Gas feedthrough assy Gas box Face plate Heater / TC: OEM Pressure gauge: MKS 100 Torr / MKS 10 Torr RF Power: RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000 - 2 V Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match RPS Type: MKS ASTEX Gas panel: CO2, N2O, He, NF3, SIH4 Vacuum system: Throttle valve: MKS 253B-24627 ISO Valve: MKS Chamber C: (SAUSG) Chamber parts: Gas feedthrough assy Gas box Face plate Heater / TC: OEM Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 1000 Torr RF Power: No RF generator No match RPS Type: (MKS ASTEX) Gas panel: O2, NF3, Ar, He, O3, TEOS Vacuum system: Throttle valve ISO Valve Light tower: RYGB Power: 208 V, 50/60 Hz Full load current: 240 A CE Marked 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III Reactor ist eine Fertigungsmaschine, die für die Herstellung von Substraten bei hohen Temperaturen ausgelegt ist. Es ist ein fortschrittlicher Reaktor, der für die Verarbeitung von Halbleitern, harten Materialien und tribologischen Materialien bestimmt ist. Der Reaktor wird hauptsächlich für die Halbleiterforschung, Produktion und Automatisierungstests verwendet. Der Reaktor besteht aus drei Kammern, die bei getrennten Temperaturen arbeiten: Die erste Kammer ist bis zu 2000 ° C, die zweite Kammer bis zu 1000 ° C und die dritte Kammer bis zu 500 ° C ausgelegt. Der Reaktor ist auch mit einem Absperrventil ausgestattet, das den Druck in der Kammer einstellt. Der Producers III Reactor ist mit einer fortschrittlichen Kühlausrüstung ausgestattet, die alle drei Kammern gleichzeitig kühlt. Dieses Kühlsystem ist so konzipiert, dass es die Zeit zum Anfahren des Reaktors reduziert und ein thermisches Auslaufen verhindert. Der Producers III Reactor verfügt über erweiterte Sicherheitsfunktionen wie eine ausfallsichere Einheit, mehrere Sicherheitsverriegelungen und eine Notabschaltung. Der Reaktor weist ferner eine elektrostatische Aufnahmemaschine auf, die den Reaktor von der Außenumgebung isoliert. Der Reaktor ist auch so ausgelegt, dass er Materialien effizient verarbeitet, indem er das proprietäre Abscheidungswerkzeug ID AMAT verwendet, das einen gleichmäßigen, gleichmäßigen Materialfilm auf das Substrat sprüht. Diese Abscheidung ist in der Lage, die gewünschten Temperaturen schnell und effizient zu erreichen. Dieser hochentwickelte Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Verfahren wie Nitridierung, Oxidation, schnelle thermische Verarbeitung und Abscheidung durchzuführen. AMAT Producer III Reactor ist ein vielseitiges und effizientes Werkzeug, das in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Substraten eingesetzt wird.
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