Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #177862 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 177862
System, SABPSG
Front End: Manual FE
Buffer pump: IPX100
Wafer sensor: WPS
Chamber position: A, B, C
Chambers A, B, C:
Lift assembly Installed
Pressure gauge Installed
RFG AE RFG-2000
RPS MKS FI20620
P-kit Installed
Ozone rack: Yes
Gas panel
SLD: Yes
MFC UNIT 8161/8160
Transducer MKS w/o display
Line L3 Empty
Line L2 Empty
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Line 1 O3
Line 2 O2 20 slm
Line 3 N2
Line 4 NF3 10 slm
Line 5 N2 5 slm
Line 6 Ar 20 slm
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Line 8 He 20 slm
Line 9 N2 20 slm
Line 10 N2 purge
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PLIS:
TEOS Yes
TEPO x (line ready)
TEB x (line ready)
Liquid line Yes
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S ist ein modulares Einzelwaferwerkzeug mit hohem Durchsatz, das für Dünnschichtprozesse der chemischen Dampfabscheidung (CVD) und der Atomschichtabscheidung (ALD) verwendet wird. Das Werkzeug hat eine kompakte Bauweise, so dass es leicht in kleinere Fertigungsräume passen kann. Es hat auch einen breiten Temperaturbereich, so dass es sich an jeden Produktionsbedarf anpassen kann. AMAT PRODUCERS ist mit hochgradigen Maßnahmen zur Verringerung der Sicherheit und Verschmutzung konzipiert. Es verfügt über eine integrierte Regelungseinrichtung, die automatisch Produktionsniveaus, Prozessparameter und Temperatur anpasst, um Überschwingungen zu vermeiden und die Produktion konsistent zu halten. Die automatisierte Steuerung reduziert auch das Potenzial für Bedienungsfehler während der Produktion. APPLIED MATERIALS PRODUCER-S arbeitet an einer Zweikammer-Prozesskammerkonfiguration. Die erste Prozesskammer ist für den Umgang mit verschiedenen Materialarten ausgelegt, während die zweite Prozesskammer zur Reinigung des Substrats vor der Dünnschichtabscheidung verwendet wird. Beide Kammern können gleichzeitig beheizt werden, was eine schnellere Produktion ermöglicht. AMAT Producer S ist mit einer fortschrittlichen Automatisierungseinheit ausgestattet, die eine präzise Kontrolle über jeden Aspekt des Produktionsprozesses ermöglicht. Das Werkzeug kann sowohl manuell als auch automatisiert betrieben werden. Es ist auch mit einer modernen Bewegungssteuermaschine ausgestattet, die die Bewegung des Substrathalters und der Düse des CVD/ALD-Quellmaterialinjektors steuern kann. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S bietet eine Vielzahl von Funktionen, die dazu beitragen, Kosten zu senken und die Fertigung zu verbessern. Es verfügt über einen Roboterarm zum Be- und Entladen von Substraten und ein Software-Tool zur Planung und Optimierung. Der Roboterarm hilft, das Potenzial für Fehler durch menschliches Versagen zu reduzieren, während das Software-Asset hilft, Ausfallzeiten zu reduzieren. PRODUCER-S ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug zur Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen. Mit seinem fortschrittlichen Automatisierungsmodell und Sicherheitsmaßnahmen bietet es eine kostengünstige Lösung für Dünnschichtabscheidungsbedürfnisse.
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