Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #177862 zu verkaufen

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ID: 177862
System, SABPSG Front End: Manual FE Buffer pump: IPX100 Wafer sensor: WPS Chamber position: A, B, C Chambers A, B, C: Lift assembly Installed Pressure gauge Installed RFG AE RFG-2000 RPS MKS FI20620 P-kit Installed Ozone rack: Yes Gas panel SLD: Yes MFC UNIT 8161/8160 Transducer MKS w/o display Line L3 Empty Line L2 Empty Line L1 Empty Line 1 O3 Line 2 O2 20 slm Line 3 N2 Line 4 NF3 10 slm Line 5 N2 5 slm Line 6 Ar 20 slm Line 7 Empty Line 8 He 20 slm Line 9 N2 20 slm Line 10 N2 purge Line R1 Empty Line R2 Empty Line R3 Empty PLIS: TEOS Yes TEPO x (line ready) TEB x (line ready) Liquid line Yes 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S ist ein modulares Einzelwaferwerkzeug mit hohem Durchsatz, das für Dünnschichtprozesse der chemischen Dampfabscheidung (CVD) und der Atomschichtabscheidung (ALD) verwendet wird. Das Werkzeug hat eine kompakte Bauweise, so dass es leicht in kleinere Fertigungsräume passen kann. Es hat auch einen breiten Temperaturbereich, so dass es sich an jeden Produktionsbedarf anpassen kann. AMAT PRODUCERS ist mit hochgradigen Maßnahmen zur Verringerung der Sicherheit und Verschmutzung konzipiert. Es verfügt über eine integrierte Regelungseinrichtung, die automatisch Produktionsniveaus, Prozessparameter und Temperatur anpasst, um Überschwingungen zu vermeiden und die Produktion konsistent zu halten. Die automatisierte Steuerung reduziert auch das Potenzial für Bedienungsfehler während der Produktion. APPLIED MATERIALS PRODUCER-S arbeitet an einer Zweikammer-Prozesskammerkonfiguration. Die erste Prozesskammer ist für den Umgang mit verschiedenen Materialarten ausgelegt, während die zweite Prozesskammer zur Reinigung des Substrats vor der Dünnschichtabscheidung verwendet wird. Beide Kammern können gleichzeitig beheizt werden, was eine schnellere Produktion ermöglicht. AMAT Producer S ist mit einer fortschrittlichen Automatisierungseinheit ausgestattet, die eine präzise Kontrolle über jeden Aspekt des Produktionsprozesses ermöglicht. Das Werkzeug kann sowohl manuell als auch automatisiert betrieben werden. Es ist auch mit einer modernen Bewegungssteuermaschine ausgestattet, die die Bewegung des Substrathalters und der Düse des CVD/ALD-Quellmaterialinjektors steuern kann. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S bietet eine Vielzahl von Funktionen, die dazu beitragen, Kosten zu senken und die Fertigung zu verbessern. Es verfügt über einen Roboterarm zum Be- und Entladen von Substraten und ein Software-Tool zur Planung und Optimierung. Der Roboterarm hilft, das Potenzial für Fehler durch menschliches Versagen zu reduzieren, während das Software-Asset hilft, Ausfallzeiten zu reduzieren. PRODUCER-S ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug zur Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen. Mit seinem fortschrittlichen Automatisierungsmodell und Sicherheitsmaßnahmen bietet es eine kostengünstige Lösung für Dünnschichtabscheidungsbedürfnisse.
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