Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9013303 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9013303
Wafergröße: 8"
TEOS PECVD system, 8"
System Overview:
Technology DCVD
Platform Type PRODUCER SE
Wafer Size 200MM (8 INCH)
Wafer Shape SNNF
Position A (XY) PE TEOS TWIN
Position B (XY) PE TEOS TWIN
Position C (XY) PE TEOS TWIN
Position A Process (09) TEOS
Position B Process TEOS
Position C Process TEOS
System Software:
System software Latest qualified version V3.4_12
GP Latest qualified version P 133
Factory Interface System 5.4 FI, Options:
Number of Loadports Number of Loadports 2
Metrology Unit Nano Nanometrics
Light Towers 4 COLOR CONFIGURABLE LIGHT TOWER YES
MainFrame Options:
Rear MF Light Tower RAGB No NO
Remote Options, System Monitors:
First Local Monitor STAND ALONE, 15 Inch
Second Local Monitor TTW WITH KEYBOARD, 15 inch
Remote Options, Heat Exchanger:
System Heat Exchanger Qty ONE Steelhead 1
AMAT HX Hoses and Manifolds NO YES
Pumps:
Transfer chamber Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber A Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber B Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber C Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Customer Fab Options:
System Power Mainframe 208V 300A 208V 3 Phase, 4 Wire 300A
Customer EMO Interface 24V AC
ChA-B-C, (XY) PE TEOS TWIN:
(2) Robot Blades Aluminum
RF Generator 1
RF Generator 2
(2) Heater HA-12 TIGHT RF MESH WITH CLAMP TYPE 2
(2) Rf Filter Rev ? RF filter
Foreline TV 2 1/2-inch heated throttle valve
Foreline ISO 2 1/2-inch heated ISO valve
RPS Astron EX RPS
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Gas Box Options:
Gas Pallet Type TEOS ONLY
ChA-B-C, (XY) PE TEOS TWIN, Gas Box Configuration, Gas Section:
Line 1 Empty
Line 2 Empty
Line 3 O2- 5SLM
Line 4 N2 Purge
Line 5 Ar- 5SLM
Line 6 NF3- 3SLM
Line 7 Empty
Line 8 Empty
Line 9 He- 5SLM
Line 10 Liquid Purge
Line 11 Empty
Line 12 Empty
Line 13 Empty
Line 14 Liquid Pos 1 TEOS- 4.0 g/min
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Process Abatement:
Abatement TCS
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Process Kit, TEOS:
(2) Gas Box Gas Box - Bypass 0040-53927
(2) Blocker UHD Blocker,200mm Producer 0021-09914
(2) Faceplate,TEOS Faceplate,200mm Producer 0021-01813
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S ist ein fortschrittlicher Reaktor, der für seine Wirksamkeit und Leistung bekannt ist. Es wird verwendet, um eine Vielzahl von Materialien auf Substraten abzulegen, um verschiedene Produkte zu erstellen. Es fungiert typischerweise als PECVD-Reaktor (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) und ist eines der am weitesten verbreiteten Werkzeuge in der Halbleiterindustrie. AMAT PRODUCERS verwendet ein einzigartiges Design, das Plasma gleichmäßig in die Abscheidekammer verteilt, was zu hochwertigen und gleichmäßigen Beschichtungen führt. Es verwendet eine fortschrittliche turbulente Strömungsausrüstung, um optimale Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit zu erzeugen. Das Design sorgt dafür, dass jeder Produktionsschritt für die Herstellung von Mikrokomponenten und integrierten Schaltungsbauelementen optimiert wird. Das System ist mit verschiedenen erweiterten Funktionen ausgestattet, die die Effizienz maximieren und die Zeit reduzieren, die benötigt wird, um einen Zyklus abzuschließen. Dies beinhaltet eine Doppelkammer-Konstruktion, die automatisch zwischen Ihrem gewünschten Prozess wechselt, so dass der Reaktor schneller und mit weniger Unterbrechungen läuft. Darüber hinaus unterstützt die automatisierte Schalungseinheit die Aufrechterhaltung einheitlicher Prozessbedingungen in der gesamten Maschine. APPLIED MATERIALS PRODUCER-S ist auf Präzision und beispiellose Genauigkeit ausgelegt. Es bietet Benutzern die notwendigen Tools, um optimale Prozessbedingungen zu validieren und zu bestätigen. Dies wird durch eine Vielzahl von Diagnosen erreicht, die in Echtzeit überwacht werden können. Alle relevanten Parameter können während des gesamten Produktionsprozesses überwacht werden, so dass Bediener schnell eingreifen können, wenn ein Prozess schief geht. Der Reaktor ist auch für eine einfache Wartung ausgelegt. Seine fortschrittlichen Funktionen gewährleisten seine Langlebigkeit und Leistung. Neben diesen innovativen Funktionen bietet das Tool auch mehrere Sicherheitsfunktionen, um seinen Betreibern Ruhe zu bieten. Sobald alle Sicherheitsrichtlinien befolgt werden, können Benutzer das robuste Design des Asset nutzen und sicher sein, dass sie mehrere Prozesse problemlos ausführen können. PRODUCER-S ist ein unglaublich fortschrittlicher und zuverlässiger Reaktor, der beispiellose Vielseitigkeit und Leistung bietet. Mit seinem effizienten Design und seinen fortschrittlichen Funktionen ist APPLIED MATERIALS Producer S eine ausgezeichnete Wahl für alle, die qualitativ hochwertige Produkte mit absoluter Genauigkeit produzieren möchten.
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