Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9251468 zu verkaufen
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ID: 9251468
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
CVD System, 8"
Shrink type
(2) Twin chambers
Controller: Legacy type
L/L and Xfer pump: EDWARDS IPX
Chiller: Steel head
AC Box
UPS
Chamber A and B:
Process: P-TEOS (PSG)
RF: ADVANCED ENERGY RFG2000-2V
LF: ENI QUANTA-10
RPS: ASTRON 2L (F120620-1)
Chamber A:
Gas panel:
Gas / Max flow / Make / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 3 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
N2O / 2 slm / STEC / SEC-4400
SiF4 / 2 slm / STEC / SEC-4400
TEOS / 4 g/min / STEC / LF-410-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
Chamber B:
Gas panel:
Gas / Max flow / Maker / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
TEOS / 4 g/min / ST EC / LF-410A-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S ist ein SOD-Reaktor für die Herstellung von IC-Geräten und anderen Komponenten. Es kann für die Serienfertigung von integrierten Schaltungen, MEMS-Geräten und anderen optoelektronischen Komponenten verwendet werden. Der AMAT PRODUCERS Reaktor wurde speziell entwickelt, um eine breite Palette von Temperaturen, Drücken und Gasströmen bereitzustellen, sodass Anwender optimierte Prozessbedingungen für eine Reihe von Materialien erreichen können. APPLIED MATERIALS PRODUCER-S Reaktor verfügt über eine fortschrittliche Hochdurchsatz-Cluster-Ausrüstung, die einen kontinuierlichen Betrieb von Anfang bis Ende des Geräteherstellungsprozesses ermöglicht und gleichzeitig einheitliche und wiederholbare Abbildungsergebnisse liefert. Der S-Reaktor ist mit einem zweireihigen Gasinjektor und einem strömungsarmen Mischsystem ausgestattet, die sowohl die Temperatur- als auch die Druckregelung zur präzisen Abscheidung dünner Filme verbessern. Es verfügt außerdem über eine integrierte Temperaturüberwachungs- und Steuereinheit zur Erzielung einer überlegenen Dünnschichtabscheidung. Die Maschine besteht aus einer beheizten ID-Kammer, einem Heizelement mit wählbarer Temperatur, einem Konvektionsplenum und einer Vakuumpumpe zur Aufrechterhaltung der gewünschten Drücke. Der S-Reaktor wurde entwickelt, um eine hohe Produktivität und Ausbeute bei gleichzeitiger strenger Kontrolle der Prozessparameter zu gewährleisten. Es kann für fortgeschrittene IC-Geräteproduktion verwendet werden, einschließlich 3D-Strukturen, die eine Abscheidung von Material mit präziser Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit erfordern. Das Steuerungstool verwendet einen ASCODE-Zuordnungsalgorithmus, um sicherzustellen, dass alle Prozessbedingungen während des gesamten Ablaufs aufrechterhalten werden. Das Asset enthält auch eine Software-fähige Feedback-Schleife, um den Betrieb des Reaktors zu steuern. AMAT PRODUCER-S Reaktor ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für die Herstellung von IC-Geräten und anderen Komponenten mit hohem Durchsatz, niedrigen Betriebskosten und ausgezeichneter Prozesskontrolle. Das Modell ist aufgrund seiner geringen Anschaffungs- und Betriebskosten in der Lage, hochwertige ICs zu niedrigen Betriebskosten zu produzieren. Es eignet sich auch gut für den Einsatz in Forschung und Entwicklung sowie für die großflächige Fertigung von Bauteilen für kommerzielle Anwendungen.
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