Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9291526 zu verkaufen

ID: 9291526
Weinlese: 2005
CVD System, 8" (2) PECVD SiN PECVD TEOS (3) Twin chambers Wafer shape: SNNF No SMIF interface Chamber: A twin: PE OX SIN ARC APF B twin: PE OX TEOS SIN ARC C twin: PE OX SIN ARC APF Chamber A: Single frequency Manometer: 10/100 Torr Clean type (RPC): ASTEX No DPA Chamber B: Single frequency Manometer: 10/100 Torr Clean type (RPC): ASTEX No DPA Chamber C: Single frequency Manometer: 10/100 Torr Clean type (RPC): ASTEX No DPA System monitors: Through the wall Mainframe Mainframe type: Shrinkage Robot type: Dual VHP Load cassette: Manual (2) cassettes No SMIF VME Racks: SBC VGA MEI1 MEI2 I/O Expan Monitor Floppy Disk Drive (FDD) No Hard Disk Drive (HDD) Gas delivery: MFC Type: AERA D980 / BROOKS 6256S FUJIKIN 5 Ra Max valves Transducer: MKS With display Regulators: PARKER Single Line Drop (SLD) SLD Gas line feeds: Top feed Gas pallet: Chamber A: Make / Model / Size / Gas BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2 AERA / FC-D980C / 1 SLM / SiF4 BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2O BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3 BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2 BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4 BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3 BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar Chamber B: AERA / FC-D981C / 20 SLM / N2O BROOKS / 6256s / 500 SCCM / N2O BROOKS / 6256s / 5 SLPM / O2 BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SIF4 MYKROLIS / FC-2902MEP-T / 500 SCCM / SH4 BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2 BROOKS / 6256s / 5 SLPM / He AERA / FC-D981C / 400 SCCM / NH3 BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3 BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar HORIBA / 4 g/min / TEOS Chamber C: BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2 BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SiF4 AERA / FC-D980C / 20SLM / N2O BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3 BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2 BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4 BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He BROOKS / 6256s / 2 SLPM / NF3 BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar Electrical requirements: Line frequency: 50/60 Hz Line voltage: 200/208 V Line amperage: 240 A 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S ist eine fortschrittliche Prozesskammerausrüstung, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es handelt sich um einen Hochtemperatur-CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der die Herstellung hoher Mengen an eingebauter Elektronik ermöglicht. AMAT PRODUCERS ist ein multifunktionales System, das sich für eine Reihe von Nachbearbeitungsanwendungen eignet, darunter CVD, Atomschichtabscheidung (ALD) und physikalische Dampfabscheidung (PVD). APPLIED MATERIALS PRODUCER-S hat ein symmetrisches Keramikkammerdesign, das eine ideale Umgebung für die Abscheidung von Polymeren, Oxiden und Metallen schafft. Es kann bei Temperaturen bis 1000 ° C in einer Stickstoff- oder Sauerstoffumgebung betrieben werden und die Kammer ist für eine gleichmäßige Filmdicke und Wärmesteuerung ausgelegt. Außerdem verfügt die Kammer über eine integrierte Mikrowellen-Plasmaquelle, die die Qualität und Konsistenz der aufzubringenden Folien erhalten soll. AMAT Producer S ist mit einer robotisierten Endeffektoreinheit und einer Sammlung von Gassteuerungen ausgestattet, die für gewünschte Prozesse präzise eingewählt werden können. Die vielfältigen In-situ-Diagnosefähigkeiten, einschließlich eines optischen Emissionsspektrometers (OES), analysieren die Materialabscheidung und optimieren die Filmleistung in verschiedenen Prozessen. Eine zusätzliche Option einer abgewinkelten Substratheizung ist verfügbar, um Filme mit größerer Gleichmäßigkeit zu erleichtern. Alle Komponenten sind in einem einzigen Gehäuse untergebracht und können durch ihren modularen Aufbau zugänglich gemacht werden, was eine schnelle und effiziente Wartung ermöglicht. Die Maschine ist auch mit intuitiver Software und benutzerfreundlichen Funktionen ausgestattet. Es erleichtert den Zugriff auf Echtzeit-Prozessdaten, prädiktive Modellierung und Prozessoptimierungsfunktionen. Betriebsparameter können schnell verändert und angepasst werden, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Die integrierte Software ermöglicht auch Fernzugriff, bietet mehr Flexibilität und Überwachungsfunktionen. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S ist ein robustes und hochqualitatives CVD-Werkzeug mit hoher Qualität und hohem Durchsatz für eine Reihe von Nachbearbeitungsanwendungen. Seine symmetrische keramische Kammerkonstruktion ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung von Polymeren, Oxiden und Metallen, wodurch eine kontrollierte Umgebung für den hochtemperaturchemischen Dampfabscheidungsprozess geschaffen wird. Die verbesserten Gasmischfähigkeiten und die mehrfache In-situ-Diagnose stellen sicher, dass die Materialabscheidung konsistent und von guter Qualität ist und zur Minimierung von Schrottverlusten beiträgt. Das modulare Design und die intuitive Software bieten zudem Echtzeitüberwachung, was es zu einer idealen Wahl für die Herstellung integrierter Schaltungen macht.
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