Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9291526 zu verkaufen
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ID: 9291526
Weinlese: 2005
CVD System, 8"
(2) PECVD SiN
PECVD TEOS
(3) Twin chambers
Wafer shape: SNNF
No SMIF interface
Chamber:
A twin:
PE OX
SIN
ARC
APF
B twin:
PE OX
TEOS
SIN
ARC
C twin:
PE OX
SIN
ARC
APF
Chamber A:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
Chamber B:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
Chamber C:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
System monitors: Through the wall
Mainframe
Mainframe type: Shrinkage
Robot type: Dual VHP
Load cassette: Manual (2) cassettes
No SMIF
VME Racks:
SBC
VGA
MEI1
MEI2
I/O Expan
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
No Hard Disk Drive (HDD)
Gas delivery:
MFC Type: AERA D980 / BROOKS 6256S
FUJIKIN 5 Ra Max valves
Transducer: MKS With display
Regulators: PARKER
Single Line Drop (SLD)
SLD Gas line feeds: Top feed
Gas pallet:
Chamber A:
Make / Model / Size / Gas
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2
AERA / FC-D980C / 1 SLM / SiF4
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2O
BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
Chamber B:
AERA / FC-D981C / 20 SLM / N2O
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / N2O
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / O2
BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SIF4
MYKROLIS / FC-2902MEP-T / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / He
AERA / FC-D981C / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
HORIBA / 4 g/min / TEOS
Chamber C:
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2
BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SiF4
AERA / FC-D980C / 20SLM / N2O
BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200/208 V
Line amperage: 240 A
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S ist eine fortschrittliche Prozesskammerausrüstung, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es handelt sich um einen Hochtemperatur-CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der die Herstellung hoher Mengen an eingebauter Elektronik ermöglicht. AMAT PRODUCERS ist ein multifunktionales System, das sich für eine Reihe von Nachbearbeitungsanwendungen eignet, darunter CVD, Atomschichtabscheidung (ALD) und physikalische Dampfabscheidung (PVD). APPLIED MATERIALS PRODUCER-S hat ein symmetrisches Keramikkammerdesign, das eine ideale Umgebung für die Abscheidung von Polymeren, Oxiden und Metallen schafft. Es kann bei Temperaturen bis 1000 ° C in einer Stickstoff- oder Sauerstoffumgebung betrieben werden und die Kammer ist für eine gleichmäßige Filmdicke und Wärmesteuerung ausgelegt. Außerdem verfügt die Kammer über eine integrierte Mikrowellen-Plasmaquelle, die die Qualität und Konsistenz der aufzubringenden Folien erhalten soll. AMAT Producer S ist mit einer robotisierten Endeffektoreinheit und einer Sammlung von Gassteuerungen ausgestattet, die für gewünschte Prozesse präzise eingewählt werden können. Die vielfältigen In-situ-Diagnosefähigkeiten, einschließlich eines optischen Emissionsspektrometers (OES), analysieren die Materialabscheidung und optimieren die Filmleistung in verschiedenen Prozessen. Eine zusätzliche Option einer abgewinkelten Substratheizung ist verfügbar, um Filme mit größerer Gleichmäßigkeit zu erleichtern. Alle Komponenten sind in einem einzigen Gehäuse untergebracht und können durch ihren modularen Aufbau zugänglich gemacht werden, was eine schnelle und effiziente Wartung ermöglicht. Die Maschine ist auch mit intuitiver Software und benutzerfreundlichen Funktionen ausgestattet. Es erleichtert den Zugriff auf Echtzeit-Prozessdaten, prädiktive Modellierung und Prozessoptimierungsfunktionen. Betriebsparameter können schnell verändert und angepasst werden, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Die integrierte Software ermöglicht auch Fernzugriff, bietet mehr Flexibilität und Überwachungsfunktionen. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S ist ein robustes und hochqualitatives CVD-Werkzeug mit hoher Qualität und hohem Durchsatz für eine Reihe von Nachbearbeitungsanwendungen. Seine symmetrische keramische Kammerkonstruktion ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung von Polymeren, Oxiden und Metallen, wodurch eine kontrollierte Umgebung für den hochtemperaturchemischen Dampfabscheidungsprozess geschaffen wird. Die verbesserten Gasmischfähigkeiten und die mehrfache In-situ-Diagnose stellen sicher, dass die Materialabscheidung konsistent und von guter Qualität ist und zur Minimierung von Schrottverlusten beiträgt. Das modulare Design und die intuitive Software bieten zudem Echtzeitüberwachung, was es zu einer idealen Wahl für die Herstellung integrierter Schaltungen macht.
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