Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9296926 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S ist ein Mehrkammer-, Split-Typ-Reaktionssystem, das eine Vielzahl von industriellen Prozessen ermöglicht, einschließlich der Herstellung von Halbleiterbauelementen, Nanowire-Abscheidung, Dünnschichtabscheidung und Photovoltaik. Der Reaktor besteht aus drei Kammern: einer Vorevakuierungskammer, einer Ultrahochvakuumkammer und einer Lastschließkammer. Das Layout lässt sich leicht für verschiedene Anwendungen anpassen, wobei das gesamte System in der Lage ist, in einen einzigen Benchtop-Raum von weniger als 10ft (3m) zu passen. Die Vorevakuierungskammer dient zum Abpumpen des Drucks der Lastschließkammer und der Ultrahochvakuumkammer. Es dient auch dazu, Niedertemperaturvakuum einzuführen, um die Abscheidung zu erleichtern. Die Ladekammer ist so ausgelegt, dass Substrathalter ohne Unterdruckbruch in die Ultrahochvakuumkammer geladen werden können, so dass das Ultrahochvakuum aufrechterhalten werden kann. Die Lastsperrkammer wird auf etwa 85 Grad Celsius erwärmt, wodurch die Substratdesorption unterstützt und die Partikelbildung reduziert wird. Die Ultrahochvakuumkammer kann Drücke von bis zu 2x10-7torr erreichen. In dieser Kammer würde die eigentliche Abscheidung erfolgen. Die Reaktionskammer ist mit einem abgeschirmten Quarz-Coldwall-Viewport, einem Gaskrümmer, einer elektrischen Durchführung, hochintensiven Lampen und einem Behälter zur Ionisierung der Atmosphäre ausgestattet. Diese Kammer soll verschiedene Arten von Haltern, wie Waferhalter und Substrathalter aufnehmen, um Substratmanipulation und Abscheidung zu ermöglichen. AMAT PRODUCERS ermöglicht verschiedene fortschrittliche Technologien, darunter plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PEVCD), chemische Dampfabscheidung (CVD) und Sputtern. Diese Verfahren erleichtern die Dünnschichtabscheidung auf Siliziumscheiben und -substraten, die Erzeugung von Nanopartikeln und Nanostrukturen sowie die Abscheidung von metallischen, halbleiter- und dielektrischen Schichten. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS PRODUCER-S ein sehr vielseitiger Reaktor, der in einem einzigen, platzsparenden Design für eine breite Palette von industriellen Prozessen geeignet ist. Die Konfiguration ermöglicht es dem Prozessor, die für fortschrittliche Fertigungsprozesse erforderlichen Drücke, Temperaturen und Vakuumwerte zu erreichen und gleichzeitig ein sicheres und zuverlässiges System zu erhalten.