Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k Dielectric #9287956 zu verkaufen
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AMAT Producer SE BD/BLOk Low k Dielectric ist ein Reaktortyp, der zur Herstellung von Dünnschichtschichten bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Diese dielektrische Schicht ist wesentlich für die Steuerung von Bauelementcharakteristiken wie Kapazität, Widerstand und Durchbruchspannung eines Halbleiterbauelements. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller SE BD/BLOk Low k Der dielektrische Reaktor ist so konzipiert, dass er gleichmäßige und reproduzierbare dielektrische Schichten mittels Atomschichtabscheidung (ALD) erzeugt. ALD beinhaltet die sequentielle Belichtung eines Substrats mit zwei oder mehreren Vorläufern (chemischen Spezies), die miteinander auf dem Substrat zu einer dünnen gleichmäßigen Schicht reagieren. Der Reaktor besteht aus einem beheizten Substrattisch, der in einer Quarzkammer eingeschlossen und von rund sechs Duschköpfen umgeben ist. Mit den Brauseköpfen werden verschiedene gasförmige Vorläufer präzise in die Kammer geleitet, die dann auf das Substrat adsorbiert werden. Der Substrattisch kann auf Temperaturen von 25 ° C bis 350 ° C erwärmt werden. Eine Hochvakuumpumpe und ein Manometer dienen zur Überwachung und Aufrechterhaltung des Drucks in der Kammer während der Verarbeitung. Um eine gleichmäßige Abdeckung des Substrats zu gewährleisten, sind die Brauseköpfe so ausgelegt, dass sie eine konstante Verteilung von Vorläufermolekülen auf das Substrat liefern. Das Gasverteilungssystem ist ein kritisches Element des Reaktors, da eine gleichmäßige Verteilung der Vorläufermoleküle die Bildung einer Grenzflächenproduktion von dünnen gleichförmigen dielektrischen Schichten ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k Der dielektrische Reaktor wurde entwickelt, um dielektrische Schichten mit niedriger k-Spannung aufgrund ihres niedrigen Dielektrizitätskonstanten zu erzeugen, wodurch kleinere Geräteeigenschaften bei gleichzeitig guter Isolation erzielt werden können. Dies wird durch effizientes Design und Einsatz modernster Technik erreicht. AMAT Producer SE BD/BLOk Low k Dielektrischer Reaktor ist eine zuverlässige, kostengünstige Möglichkeit, Dünnschichtschichten in der Halbleiterbauelementherstellung herzustellen. Sein effizientes Design ermöglicht verbesserte Geräteeigenschaften wie Kapazität, Widerstand und Durchbruchspannung, wodurch Hersteller zuverlässige Halbleiterbauelemente herstellen können.
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