Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE+ #293591355 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE + ist eine Hochleistungs-Abscheideausrüstung, die für eine Vielzahl von spezialisierten reaktiven Materialsynthese und Abscheidungsprozessen konzipiert ist. Das SE + -System ist ein Single-Wafer-Chargenreaktor, der eine Multi-Source-Abscheidung mit mehreren Elementen in einer Hochvakuumumgebung ermöglicht. Die Einheit soll zur Herstellung von dünnen Schichten, Hartmasken und anderen dünnen Schichten und Halbleitermaterialien mit einem Dickenbereich von 1 nm bis 10 μ m dienen. Das SE + ist vollautomatisiert und bietet zahlreiche Prozessoptionen und Steuerungsfunktionen. Das SE + nutzt fortschrittliche Techniken wie Oxidationsmittel, plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD) und Atomschichtabscheidung (ALD). Die Maschine weist außerdem eine variable Prozessdicke auf, indem die Belichtungszeit und der Druck in Abhängigkeit vom gewünschten Ergebnis gesteuert werden. Die SE + kann auch eine Vielzahl von Filmen mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit bei hohen Durchsatzraten erstellen. Die SE + verfügt über erweiterte Temperatur- und Kammerdrucksteuerungen, die hochwertige Folien liefern und auch mit einer breiten Palette von Substraten kompatibel sind. Es enthält ein Oxidationsmodul, das Kohlenwasserstoff, Sauerstoff und andere inerte Gase enthält; es ist auch in der Lage, einen höheren Substrattemperatur- und Druckbereich beizubehalten. Das Substrat wird in ein vollautomatisches, abgedichtetes Kammerwerkzeug eingelegt, und die gesamte Bearbeitung erfolgt im Inneren, wodurch zusätzliche Aufräum-, Bearbeitungs- und Zwischenstufenreinigungen entfallen. Das Asset verfügt außerdem über eine Kammergeometrie, die für eine optimale Prozessgleichmäßigkeit und Kontrolle der Abscheidungsparameter ausgelegt ist. Darüber hinaus ist die Kammer von einem hocheffizienten Gas-sequentiellen Injektionsmodell (GSIS) umgeben, um eine ausreichende Versorgung mit Vorläufern zu gewährleisten und jeden Prozess wiederholbar zu machen. Das SE + verfügt zudem über eine intuitive, automatisierte Tuningfähigkeit und eine fachkundige Ausrüstungsoptimierung von Abscheideparametern, die reproduzierbare Dünnschichtergebnisse bei jedem Abscheidelauf ermöglicht. Das System ist mit mehreren Prozessquellen und einer Reihe optionaler Prozesstechnologien wie Widerstandsheizung, Lasererfassung und mehreren Hardware-Upgrade-Optionen erweiterbar. Zusammenfassend ist AMAT Producer SE + eine leistungsstarke Single-Wafer-Batch-Reaktoreinheit, die zur Optimierung der Synthese- und Abscheidungsprozesse reaktiver Materialien entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von dünnen Schichten, Hartmasken und anderen dünnen Schichten und Halbleitermaterialien mit Präzision, Gleichmäßigkeit und hohem Durchsatz zu schaffen. Darüber hinaus verfügt die SE + über erweiterte Temperatur- und Kammerdrucksteuerungen, eine Kammergeometrie für optimale Prozessgleichförmigkeit und Parametersteuerung, eine hocheffiziente Gas Sequential Injection Machine (GSIS) sowie eine intuitive, automatisierte Tuning- und Experten-Werkzeugoptimierung.