Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614935 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293614935
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
PECVD System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist eine Halbleiterherstellungsanlage, die für die Hochleistungs-Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist mit fortschrittlicher Automatisierungstechnik und Präzisionswerkzeugen ausgestattet, die eine schnelle und hochgenaue Produktion einer breiten Palette von Wafern ermöglichen. Dieses System wird aus dem Doppelraum, in einem 9-Roboter-Fließband angeordnete Singleoblatenverarbeitungsmodule zusammengesetzt. Die beiden Kammern arbeiten unabhängig voneinander, um gleichzeitige Prozesse mit hoher Geschwindigkeit durchzuführen. Jede Kammer ist mit einem modularen Endeffektor (MEE) -Roboter ausgestattet, der Wafer-Handhabungsprozesse durchführt. Der MEE-Roboter ermöglicht es dem Gerät, parallele Prozesslastverschlüsse auszuführen, was den Prozessdurchsatz und die Effizienz erhöht. Die beiden Kammern umfassen jeweils zwei Plasmaquellen - eine zum Ätzen und eine zum Bearbeiten. Die Quellen sind so konfiguriert, dass sie mehrere Plasmafrequenzen erzeugen, die eine verbesserte Fähigkeit ermöglichen. Die Ätzkammer umfaßt eine Mehrknoten-Plasmaquelle und einen HF-Generator, während die Verarbeitungskammer eine einzige Plasmaquelle und einen Gleichstrom/Hochfrequenz (DC/RF) -Generator umfaßt. Diese Ausrüstung ermöglicht ein hochselektives Plasmaätzen und eine schnelle Waferbearbeitung. Die Maschine ist auch mit Probenprozessoren, Filmbeschichtungseinheiten und Temperaturreglern ausgestattet. Probenprozessoren werden verwendet, um Wafer vor und nach der Verarbeitung zu analysieren, während Filmbeschichtungseinheiten verwendet werden, um dünne Filme auf Substraten abzuscheiden. Temperaturregler werden verwendet, um atmosphärische Bedingungen innerhalb der Verarbeitungskammern zu überwachen und zu regulieren, um einen stabilen Produktionsprozess zu gewährleisten. Schließlich umfasst das Werkzeug auch mehrere Bildverarbeitungskomponenten, die viele der Inspektions- und Prüfvorgänge automatisieren. Dadurch wird eine qualitativ hochwertige Produktion unterschiedlichster Wafer gewährleistet. Insgesamt ist AMAT Producer SE für die schnelle und präzise Herstellung einer breiten Palette von Halbleiterprodukten konzipiert. Es kombiniert fortschrittliche Automatisierungssysteme mit hochpräzisen Werkzeugen, die eine schnelle und effiziente Waferbearbeitung ermöglichen. Die Integration von Musterprozessoren, Folienbeschichtungen und Komponenten für die Bildverarbeitung trägt ebenfalls dazu bei, eine qualitativ hochwertige Produktion vieler Arten von Wafern zu gewährleisten.
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