Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9017194 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9017194
Weinlese: 2001
SACVD BPSG system, 8"
System overview:
Technology: DCVD
Wafer shape: SNNF
Position A: (XY) BPSG TWIN
Position B: (XY) BPSG TWIN
Position C: (XY) BPSG TWIN
System software: 3.4_8
NT version: P 133
Factory interface system 5.4 FI, options:
Number of load ports: 2
Metrology unit: Nanometrics
Light tower: 4-color configurable light tower
Remote options, system monitors:
First local monitor: standalone 15"
Second local monitor: TTW with keyboard, 15"
Remote options, heat exchanger:
System heat exchanger: Steelhead
AMAT HX hoses and manifolds: AMAT stainless hose upgrade: yes
Pumps:
Transfer chamber: BOC Edwards IPX-100L
Chamber A roughing pump: BOC Edwards iH-1000
Chamber B roughing pump: BOC Edwards iH-1000
Chamber C roughing pump: BOC Edwards iH-1000
System power mainframe: 208 V, 3 phase, 4 wire, 300 A
EMO interface: 24 VAC
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN:
Robot blades: aluminum, (2) 0040-43516
Heater: HA-12 tight RF mesh with non RF cap, (2) 0190-03516
Foreline TV: 2.5" heated throttle valve, 0010-38429
Foreline ISO: valve, ISO 200 mm SACVD PROD-REP.16 holes, 0010-01653
RPS: Astron EX RPS, 0920-00057
Ch A, (XY) BPSG TWIN, gas box options:
Gas pallet type: BPSG only
Line 1: O3
Line 2: O2- 20SLM
Line 3: N2 Purge
Line 4: NF3- 3SLM
Line 5: Empty
Line 6: Ar- 5SLM
Line 7: He- 20SLM
Line 8: He- 20SLM
Line 9: He- 20SLM
Line 10: Liquid N2 purge
Line 11: Empty
Line 12: Empty
Line 13: Empty
Line 14: Liquid Pos 1, Teb- .5 g/min
Line 15: Liquid Pos 2, TEOS- 4.0 g/min
Line 16: Liquid Pos 3, Tepo- .25 g/min
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN, process abatement: TCS
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN, process kit:
Gas box: gas box - bypass, (2) 0040-53927
Blocker UHD: blocker, 200 mm producer, (2) 0021-09914
Faceplate BPSG: faceplate, 200 mm producer, (2) 0021-03568
Top pumping liner: pumping liner top producer, (2) 0020-00402
Liner, ceramic middle: liner, ceramic middle, producer, (2) 0020-00316
Liner, ceramic bottom: liner, ceramic bottom, producer, (2) 0020-00317
Liner, ring insert: liner, ring insert, producer, (2) 0021-06569
Lift pin-TC: lift pin 170 fixed floating 200 mm producer, (8) 0200-03314
Lift ring: lift ring 120 fixed floating 200 mm producer, (2) 0200-02576
Hoop: hoop 140 fixed floating 200 mm producer, (2) 0200-02577
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein hochentwickelter Reaktor, der für die Herstellung fortschrittlicher Materialien und neuartiger Geräte entwickelt wurde. Dieser Reaktor wurde so konzipiert, dass er höchsten Anforderungen gerecht wird und höchste Ausbeuten für die Herstellung fortschrittlicher Materialien und neuartiger Geräte bietet. AMAT Producer SE vereint eine einzigartige Kombination aus anpassbarer Halbleitertechnologie, Materialwissenschaft und Verarbeitungskompetenz, um die höchsten Erträge für fortschrittliche Materialien und Geräte zu liefern. Es wurde für höchste Automatisierung und Skalierbarkeit entwickelt, um die Prozesstreue unabhängig vom Volumen oder der Komplexität des Kunden sicherzustellen. Die flexible Architektur dieses Reaktors ermöglicht eine präzise Steuerung des Reaktantenstroms und ist in der Lage, verschiedenste Reaktanden zu verarbeiten. Dieser Reaktor verfügt auch über ein ausgeklügeltes Kontrollsystem, das wiederholbare und vorhersehbare Reaktionen und Ergebnisse gewährleistet. Das Steuerungssystem ist in der Lage, Reaktionsparameter an die Feinabstimmung von Prozessen und Ergebnissen anzupassen, um die Ausbeuten zu optimieren. Das fortschrittliche Design des Reaktors umfasst eine umfassende Reihe von Prozesskammern, die jeweils mit Heiz-, Kühl- und Druckregelsystemen ausgestattet sind. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung von Reaktionstemperaturen, Reaktionszeiten und Druckprofilen. Darüber hinaus ist eine Hochgeschwindigkeitsgasförderung möglich. Das Materialprozesssystem dieses Reaktors umfasst auch eine Reihe von Materialanalysesystemen, wie SEM/EDS, TEM, FTIR, GCMS und XRD. Diese Systeme ermöglichen eine schnelle Charakterisierung von Materialabschnitten vor und nach der Verarbeitung. So können Materialien schnell entnommen und zur präzisen Prozessoptimierung analysiert werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Produzent SE wurde entworfen, um die Bedürfnisse der Hersteller von fortschrittlichen Materialien und Geräten zu erfüllen, ermöglicht hohe Volumen, hohe Ertragsproduktion und Steigerung der Produktivität. Es ist die ideale Lösung, um Labortechnik und Experimente in Produktionslinien zu übersetzen.
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