Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088227 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9088227
CVD System, 12"
(1) EFEM
(1) Main: Process chamber, transfer module
(1) AC rack: main power box
(1) O3 rack: O3 generator rack
UI panel: front UI monitor
(2) Chuck heaters: Harp USG vacuum heaters
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Hochdurchsatz-Reaktorsystem, das entwickelt wurde, um eine präzise Kombination aus hoher Gleichmäßigkeit und sehr hohem Durchsatz für eine fortschrittliche Abscheidung von Prozessmaterialien zu liefern. Die integrierte Dualkammer-Architektur ermöglicht den gleichzeitigen Betrieb zweier unabhängiger Systeme und bietet eine Engineering-Lösung für Prozessflexibilität und überlegene Produktivität, wenn Anwender dieselben Wafertypen/-größen verarbeiten möchten. Die AMAT Producer SE verfügt über eine große einheitliche Kammer mit einem innovativen Gaseinspritzsystem, das sehr einheitliche und reproduzierbare Plasmaprozesse bietet. Das große Kammerdesign ermöglicht eine präzise Materialabscheidungsgleichförmigkeit mit vielen Prozessoptionen, wie Dampfphasen-, Flüssigphasen-, Chemikaliendampf- und Atomschichtabscheidungsprozessen. Die unabhängigen Prozessmodule AdvancedSource und HiCap ermöglichen die Optimierung von MPCVD-Prozessen und eine verbesserte Folienqualität durch Low-Current Flash Thermal Spark Exciter (LFSE). Der Low-Current Flash Thermal Spark Exciter verbessert die Prozesssteuerung und Präzision weiter, indem er die Hochfrequenz (RF) -Leistung in die Kammer steuert und gewährleistet, dass sie mit extrem enger Genauigkeit auf dem gewünschten Niveau gehalten wird. Der LFSE bietet auch eine Steuerschaltung, die Lichtbogen durch scharfe Kanten auf der Prozesskammer verursacht eliminiert. Weitere Merkmale sind ein leistungsfähiges segmentiertes Spannfutter, ein separater Manipulator und eine Trennkammer, mit denen Benutzer mehrstufige Prozesse durchführen können, ohne dass Kammergase gemischt oder Rückstände von einem Prozess zum nächsten gekreuzt werden. APPLIED MATERIALS Producer SE ist mit einer intuitiven Software-Oberfläche ausgestattet, mit der Benutzer jeden Prozess anpassen, steuern und überwachen können. Anwender können die Prozess-Parameter-Profile steuern, überwachen und speichern und so eine konsistente Prozessleistung über verschiedene Lose hinweg gewährleisten. Die Software enthält auch ein leistungsfähiges File-Management-System, mit dem Benutzer Profile für wiederholbare Anwendungsergebnisse speichern und problemlos abrufen können. Produzent SE verfügt über ausgezeichnete Betriebskosten mit hohem Durchsatz, erhöhter Kompatibilität mit Substraten und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit im gesamten Waferbereich. Der Reaktor bietet zudem eine hervorragende Reproduzierbarkeit bei gleichbleibenden Ergebnissen über aufeinanderfolgende Läufe. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE bietet Anwendern höchste Flexibilität bei der Materialabscheidung mit der Flexibilität, eine Reihe von Prozesstechnologien durchzuführen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor