Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088236 zu verkaufen

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ID: 9088236
CVD System, 12", 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Vertical Single Wafer Reactor (VSWR) für Siliziumepitaxie. Der Ursprung dieser Ausrüstung ist das Ergebnis von fast 40 Jahren AMAT-Expertise, zahlreichen Kunden-Feedbacks und umfangreicher Werkstofftechnik. AMAT Producer SE verfügt über eine innovative Wärmemanagementausrüstung, die eine präzise Temperaturregelung von der schnellen Abkühlung bis hin zu Tieftemperaturanwendungen ermöglicht. Es verwendet einen Hochtemperatur-vertikalen Suszeptor für Gleichmäßigkeit im Prozess, die Substrat Gleichmäßigkeit und zuverlässige Ergebnisse gewährleistet. Dieser Reaktor nennt die Industrie ein „in-situ“ -System zur chemischen Dampfabscheidung (CVD), d.h. es lagert epitaktisches Silizium bei der Verarbeitung direkt auf dem Wafer ab, alles in derselben Kammer. Der eingeschlossene Prozess ist frei von Partikelverunreinigungen, da er in der Kammer abgedichtet ist. Dieser Hightech-Reaktor ist kostengünstig und wartungsarm und ist somit eine ideale Lösung für Massenprozessanforderungen, von der Forschung bis zur Vollserienproduktion. Es kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, einschließlich der wachsenden Nachfrage nach FinFET und 3D-NAND-Technologie, sowie Optoelektronik, MEMS und Hochleistungs-Siliziumkarbid-Geräte. Kern der APPLIED MATERIALS Producer SE ist die fortschrittliche Steuereinheit, die in der Lage ist, Rezept-Programmierung mit Echtzeit-Prozessüberwachung und Kartierung jedes Wafers während der Abscheidung. Diese in der Kammer befindliche Echtzeit-Rückkopplungssteuerungsmaschine hilft, eine gute Prozessleistung und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ergibt das Gerät eine hohe Gleichmäßigkeit sowohl der Abdeckung als auch der Dicke über das gesamte Array der verarbeiteten Wafer. Produzent SE versendet als komplettes Wafer-zu-Wafer-Werkzeug. Dies bedeutet, dass alle benötigten Komponenten für die Bearbeitung des Reaktors, einschließlich Substrat und Wafer Handling, in der Verpackung enthalten sind. Die gesamte Anlage hat eine Länge von weniger als 8 Fuß und ist somit eine ideale Lösung für Labor- und Fertigungsumgebungen. Mit seinem modularen Aufbau kann es leicht in jede Art von Raum passen, Platz sparen und die Installation beschleunigen. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ein effektives und anpassungsfähiges Einzelwafer-CVD-Modell, das sich gut für die Skalierung der Produktionsanforderungen in der Halbleiterindustrie eignet. Dank überlegener Temperaturregelung, präziser Programmierung und Echtzeit-Prozessüberwachung liefert dieser Reaktor jedes Mal außergewöhnliche, vollständig wiederholbare Ergebnisse.
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