Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088242 zu verkaufen

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ID: 9088242
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
CVD System, 12" Process: ACL Non-SMIF (3) Twin Chambers: ACL/APF) (3) RPS: localized by NPP Localized RF Generator Missing: (3) Ozone Generators (2) Kawasaki FI Robot (2) Ceramic Heater: (1) missing, (1) non-operational HDD 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Werkzeug zur epitaktischen Abscheidung verschiedener Materialien auf Halbleiterscheiben. Es handelt sich um einen vertikalen Reaktor, der für den Betrieb bei niedrigen Temperaturen im Bereich von 250 bis 500 Grad Celsius ausgelegt ist. Der Reaktor besteht aus zwei Hauptteilen, der Abscheidekammer und der thermischen Zone. Die Abscheidekammer ist dort, wo der Abscheidevorgang stattfindet. In dieser Kammer wird ein erwärmtes, inertes Gas in einem bestimmten Muster über den Wafer zirkuliert, um eine gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten. Das erhitzte Gas fördert eine gute Haftung zwischen dem abgeschiedenen Material und der Waferoberfläche. Es gibt auch Quarzlampen innerhalb der Kammer, die einen zusätzlichen Energieschub bieten können, um die Haftung des Materials weiter zu verbessern. Die thermische Zone ist Bestandteil des Reaktors, in dem Material erwärmt wird. Es ist mit einem einstufigen gasbeheizten Heißwandtiegel ausgestattet, der eine geringe thermische Masse für schnelles Temperaturrampen aufweist. Der Heißwandtiegel ermöglicht eine kontrollierte Erwärmung des Materials, was eine präzise Abscheiderate und Gleichmäßigkeit gewährleistet. Die thermische Zone ist außerdem mit einem Temperaturregler ausgestattet, der eine genaue Steuerung des Abscheideprozesses ermöglicht. Der AMAT Producer SE Reaktor ist mit zahlreichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einer Ofenverriegelungsanlage, einer Übertemperaturschutzeinrichtung und einer Notabschaltanlage. Der Reaktor verfügt auch über eine innovative Kühleinheit, die hilft, die Temperatur auf dem gewünschten Niveau zu halten. Schließlich ist der Reaktor mit einer hochwertigen Vakuummaschine ausgestattet, die einen hohen Vakuumspiegel und eine saubere Betriebsumgebung gewährleistet. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Producer SE ein äußerst zuverlässiges und effizientes Werkzeug für epitaktische Abscheidungsprozesse. Es bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten und kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien auf Halbleiterscheiben abzuscheiden. Es ist mit intuitiven Sicherheitsmerkmalen und einem hochwertigen Vakuumwerkzeug ausgestattet, und sein Tieftemperaturbetrieb sorgt für eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses.
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